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INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來(lái)將會(huì)成為一家專(zhuān)門(mén)從事真空部件銷(xiāo)售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
您好！歡迎來(lái)到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來(lái)將會(huì)成為一家專(zhuān)門(mén)從事真空部件銷(xiāo)售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
我們還專(zhuān)門(mén)從事MFC的研究和生產(chǎn)，并進(jìn)口代理和銷(xiāo)售用MFC。此外，我們配備了校準(zhǔn)器，可以通過(guò)提供MFC專(zhuān)業(yè)維修和組裝來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題和交貨時(shí)間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷，細(xì)致，可靠的服務(wù)，精誠(chéng)合作，共同進(jìn)步！
INHA-氣體質(zhì)量流量控制器-數(shù)字型
| 氣體質(zhì)量流量控制器MF-200DC | ||
| ?三維尺寸圖 | ||
| rniii iirn | ||
| INHA® | ||
| MASS FLOW CONTROLLER | ||
| ?特征 | ||
| -全數(shù)字架構(gòu) | ||
| -更快的理應(yīng)速度 | ||
| -準(zhǔn)確度局 | ||
| -穩(wěn)定的流量控制 | ||
| -寬壓力范圍 | ||
| -優(yōu)良的耐腐蝕性 | ||
| -出色的線性度 | ||
| -新型傳感制作工藝 | ||
| BE | ||
| • Seem,Sim表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量（20°C 101.3Kpa） | ||
| ? L品規(guī)格 | ||
| 型號(hào) | ||
| MF-200DC | ||
| Mass Flow Coniridlltr | ||
| and 闢®Mr | ||
| 芭 | ||
| 3R | ||
| 76 | ||
| "X" | ||
| "X"尺寸規(guī)格 | ||
| 接口規(guī)格 | ||
| l/8"Lok | ||
| l/4"Lok | ||
| 3/8"Lok | ||
| 1/2"Lok | ||
| 1/4"VCR | ||
| 1/2 "VCR | ||
| 單位：m m | ||
| mm | ||
| 122.7 | ||
| 127.3 | ||
| 130.4 | ||
| 134.4 | ||
| 123.8 | ||
| 131.4 | ||
| BE | ||
| 56 | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF200D Series | ||
| FLOW ， | ||
| ■型號(hào) | MF-200DC | |
| 流量規(guī)格（N2 ） 控制量程 準(zhǔn)確度 線性精度 重復(fù)精度 響應(yīng)時(shí)間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號(hào)類(lèi)型 密封類(lèi)型 控制類(lèi)型 連接器類(lèi)型 氣路接口類(lèi)型 接口類(lèi)型 材質(zhì) 預(yù)熱時(shí)間 | 5SCCM-50SLM 2%?100% of Full Scale <±1.0% of Full Scale <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<1 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~100 Bar(g) 1x10-9 atm. cc/sec He + 14Vdc~27Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA/Rs485(Modbus Rtu) Viton/Bu na/Kal rez/T eflon/Epd m Normally Closed Solenoid D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"l/2nLOK , l/4n , 1/2"VCR Digital Type SUS 316L 15 min (Accuracy Guaranteed : 30 min ) | |
| ?電氣連接 | ||
| 電氣連接方式 | ||
| 數(shù)字型（模擬信號(hào)兼容） | ||
| 編號(hào) | ||
| 功能 | ||
| MF-200DC | ||
| 1 | 地 | • |
| 2 | + 15V -+27V 電源 | • |
| 3 | Rs-485 B(-) | • |
| 4 | 信號(hào)公共端 | • |
| 5 | 閥控 | • |
| 6 | 信號(hào)輸出 | • |
| 7 | 電源公共端 | • |
| 8 | 信號(hào)輸入 | • |
| 9 | Rs-485 A(+) | • |
| INHA | ||
| INHA | ||
| MASS FLOW Meter | ||
| MASS FLOW Meter | ||
| mifirai | ||
| ^Iz- | ||
| Mass Flow Controller | ||
| and Meter | ||
| MF200D Series | ||
| • Seem,Sim表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | ||
| ?廣品規(guī)格 | ||
| 型號(hào) | ||
| 流量規(guī)格（N2 ） | ||
| 控制量程 | ||
| 準(zhǔn)確度 | ||
| 線性精度 | ||
| 重復(fù)精度 | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ||
| 正常工作溫度范圍 | ||
| 正常工作壓力范圍 | ||
| 漏率 | ||
| 電源 | ||
| 信號(hào)類(lèi)型 | ||
| 密封類(lèi)型 | ||
| 控制類(lèi)型 | ||
| 連接器類(lèi)型 | ||
| 氣路接口類(lèi)型 | ||
| 接口類(lèi)型 | ||
| 材質(zhì) | ||
| 預(yù)熱時(shí)間 |