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INHA-氣體質(zhì)量流量計(jì)-模擬型
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來(lái)將會(huì)成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
您好！歡迎來(lái)到仁荷微電子
基于多年的經(jīng)驗(yàn)，我們未來(lái)將會(huì)成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們?cè)趯W(xué)校和研究機(jī)構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗(yàn)。
我們還專門從事MFC的研究和生產(chǎn)，并進(jìn)口代理和銷售用MFC。此外，我們配備了校準(zhǔn)器，可以通過(guò)提供MFC專業(yè)維修和組裝來(lái)解決技術(shù)問(wèn)題和交貨時(shí)間。
公司本著“追求好、精益求精"的精神，提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和快捷，細(xì)致，可靠的服務(wù)，精誠(chéng)合作，共同進(jìn)步！
| 氣體質(zhì)量流量計(jì)MF-100M | |
| ?三維尺寸圖 | |
| irnn—irn nrrTi | |
| 9 | |
| ?特征 | |
| -響應(yīng)速拶快 | |
| -準(zhǔn)確度高 | |
| -精確的流量測(cè)量 | |
| -寬壓力范圍 | |
| -優(yōu)良的耐腐蝕性 | |
| -出色的線性度 | |
| M3 | |
| Qi | |
| t | |
| 60 | |
| riirm^rn | |
| • Sccm,Slm表示標(biāo)準(zhǔn)氣體流量(20°C 101.3Kpa) | |
| ?產(chǎn)品規(guī)格 | |
| 型號(hào) | MF-100M |
| 流量規(guī)格（N2 ） 控制量程 準(zhǔn)確度 線性精度 重復(fù)精度 響應(yīng)時(shí)間 正常工作溫度范圍 正常工作壓力范圍 漏率 電源 信號(hào)類型 密封類型 控制類型 連接器類型 氣路接口類型 接口類型 材質(zhì) 預(yù)熱時(shí)間 | 10SCCM-30SLM 2%~100%of Full Scale <±1.0% of Full Scale (20 , 30SLM : <±1.5 Full Scale) <±0.5% of Full Scale <±0.2% of Full Scale<2 sec 0~50°C(Accuracy Guaranteed: 15~35°C) 0~50 Bar(g) 1x10-9 atm.cc/sec He + 15Vdc or 24Vdc/300mA 0-5V or 4-20mA Viton/Buna/Kalrez/Teflon/Epdm X D-Sub 9 Pin Connector Male 1/4" , l/8n , 3/8"LOK l/4nVCR Analog Type SUS 316L 15 min(Accuracy Guaranteed : 30 min ) |
| ?電氣連接 | |
| 單位：mm | |
| "X"尺寸規(guī)格 | |
| 接口規(guī)格 | |
| l/8"Lok | |
| l/4"Lok | |
| 3/8"Lok | |
| 1/4 "VCR | |
| mm | |
| 116.7 | |
| 121.3 | |
| 124.4 | |
| 117.8 | |
| Mass Flow Controller | |
| and Meter | |
| MF WOSeries | |
| FLOW 唾 | |
| 電氣連接方式 | |
| 編號(hào) | 功能 |
| 1 | 信號(hào)公共端 |
| 2 | 0~5Vdc信號(hào)輸出 |
| 3 | 空 |
| 4 | 4~20mA信號(hào)輸出 |
| 5 | 電源 |
| 6 | 地 |
| 7 | 空 |
| 8 | 空 |
| 9 | 電源公共端 |
| INHA® | |
| INHA® | |
| MASS FLOW CONTROLLER | |
| MASS FLOW CONTROLLER | |
| 圈ITEl值 | |
| I | |
| z | |