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金屬密封熱式流量控制器
基于多年的經(jīng)驗，我們未來將會成為一家專門從事真空部件銷售的公司，并且我們將始終致力于為真空行業(yè)中的工作人員提供幫助。我們在學校和研究機構(gòu)中從事真空相關(guān)研究已有多年經(jīng)驗。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
金屬密封熱式流量控制器特點：
●長明零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的0.2%
●能夠根據(jù)命令變化在 3秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計
●流量范圍究 -3 sccm至高達30,000 slpm
●高壓額定值-高達1,500 psi
●可選增強型內(nèi)部后處理工藝-5u 英寸Ra (平均值)
●可拆卸式流量傳感器
●不受安裝角度影響
●其他質(zhì)量流量控制器在機城和電設(shè)計方面兼容
●TTL兼容型閥關(guān)團和吹掃功能
金屬密封熱式流量控制器優(yōu)勢：
●全金屬流路可確保件純度并降低范流風險；
●在廣泛的工藝和應用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認可的長期穩(wěn)定性和準確性；
●由于性能可靠， 因此投資回報率出眾；
●采用可拆卸式流量傳感器，因此無霧對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)；
●由于慢擬量僅為輸入輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)。
應用：
●光端機
●LED/MOCVD
●半與體
太陽能