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德國WIKA威卡高純傳感器集成顯示和開關(guān)接點
應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
德國WIKA威卡高純傳感器集成顯示和開關(guān)接點
產(chǎn)品特性
高精度壓力測量0.15 % RSS
的長期穩(wěn)定性
信號降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測量
主動溫度補償
德國WIKA威卡高純傳感器集成顯示和開關(guān)接點
描述
可靠
WUD-2x系列高純傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合，能夠為當(dāng)前市場需求提供安全、準(zhǔn)確的壓力測量。
基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術(shù)，確保了高精度壓力測量以及優(yōu)異的長期穩(wěn)定性。
主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應(yīng)。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。
配備2個可編程開關(guān)輸出，可針對具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測及控制。
結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。
WIKA壓力傳感器：A-10, O-10
WIKA壓力變送器:A-1200
WIKA壓力傳感器：IS-3
WIKA壓力傳感器：MH-3,MH-3-HY
WIKA壓力傳感器：HP-2
WIKA壓力傳感器：R-1
WIKA壓力傳感器：MG-1
WIKA壓力傳感器：P-30,P-31
WIKA壓力傳感器：WU-20,WU-25,WU-26
WIKA壓力傳感器：D-20-9,D-21-9
WIKA壓力傳感器：SA-11, S-10, S-11,S-20
WIKA壓力傳感器：E-10,E-11
WIKA壓力傳感器：WUD-20,WUD-25,WUD-26
WIKA壓力傳感器：WUC-10,WUC-15,WUC-16
WIKA壓力傳感器：MHC-1
WIKA壓力傳感器: M-10,M-11
WIKA壓力傳感器:A2G-20, A2G-45 , A2G-50, A2G-52,A2G-55,A2G-60,A2G-70,A2G-85,A2G-90,A2G-200
WIKA壓力傳感器: IWU-20,IWU-25,IWU-26
WIKA壓力傳感器: MH-4