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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
一、 產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復(fù)性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應(yīng)時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。
二、微小型熱式氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)
2.1 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
2.2 流量范圍： DN3 30-300ml/min
DN6 60-600ml/min
DN8 80-800ml/min
DN10 100-1000ml/min
注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；
(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定
2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。
三、工作原理
uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應(yīng)時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應(yīng)關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。
四、微小型熱式氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。
5、機電一體化優(yōu)化設(shè)計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復(fù)性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。
6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到小化。
7、采用新的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
8、零點自校功能，測量更準確。
9、多種氣體實際標定，全量程補償。
10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
11、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
12、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
13、*的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
14、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
15、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的選擇。
7、采用新的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。
8、零點自校功能，測量更準確。
9、多種氣體實際標定，全量程補償。
10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
11、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。
12、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。
13、*的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。
14、操作、設(shè)置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
15、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的選擇。
五、產(chǎn)品分類與命名
微氣體質(zhì)量流量計的型號命名
| MF? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
| | | | | | | | | | 接頭類型 | 0：普通 |
| | | | | | | | | 1：Swagelok接頭 | ||
| | | | | | | | | 2：其他 | ||
| | | | | | | | | 連接形式 | 0：快速接頭 | |
| | | | | | | | 1：法蘭式 | |||
| | | | | | | | 標定方式 | 0：空氣 | ||
| | | | | | | | 1：氫氣 | |||
| | | | | | | | 2：氧氣 | |||
| | | | | | | 3：氮氣 | ||||
| | | | | | | 品種 | 01：有顯示；有485通訊口；有4-20mA輸出 | |||
| | | | | | | 02：有顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
| | | | | | | 03：有顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
| | | | | | | 04：有顯示；無485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
| | | | | | | 05：無顯示；有485通訊口；無4-20mA輸出 | ||||
| | | | | | | 06：無顯示；無485通訊口；有4-20mA輸出 | ||||
| | | | | | 材質(zhì) | 0：304不銹鋼 | ||||
| | | | | | 1：316不銹鋼 | |||||
| | | | | | 2：316L不銹鋼 | |||||
| | | | | | 3：鋁 | |||||
| | | | | | 4：其他 | |||||
| | | | | 壓力 | 0：≤0.3Mpa | |||||
| | | | | 1：≤0.6Mpa | ||||||
| | | | | 2：≤1.0Mpa | ||||||
| | | | 被測介質(zhì) | |||||||
| | | 流量范圍 | ||||||||
| | 產(chǎn)品通徑 | 03：DN3 | ||||||||
| | 06：DN6 | |||||||||
| | 08：DN8 | |||||||||
| | 10：DN10 | |||||||||
| 產(chǎn)品類型 | M：質(zhì)量流量計 | |||||||||
| C：質(zhì)量流量控制器 | ||||||||||
六、安裝與接線
6.1 安裝注意事項
安裝時必須注意場合，不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方；
安裝時應(yīng)使流量計上的流向標志所示方向與流體流動方向一致；
6.2 上游管道應(yīng)有10D（D為管道內(nèi)徑）的直管段，下游應(yīng)有5D的后直管；
6.3 儀表安裝處的管道內(nèi)應(yīng)光滑清潔，無突出，流量調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在流量計的下游；
6.4 儀表水平安裝，安裝使用中嚴防漏氣；
七、儀表的機械尺寸
| | L | D | H | G |
| DN3 | 74 | 30 | 127 | G1/8 |
| DN6 | 74 | 30 | 127 | G1/4 |
| DN8 | 90 | 30 | 127 | G3/8 |
| DN10 | 130 | 35 | 127 | G1/2 |
