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國產氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的微機電（MEMS）流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有進口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數字通信方式。
國產氣體質量流量控制器產品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制
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