產(chǎn)品簡(jiǎn)介
1、變溫范圍廣,常溫到高溫1000℃全覆蓋,且變溫過程中升降溫速率可控;
2、測(cè)試精度高范圍廣,電阻測(cè)量范圍0.01uΩ到1200MΩ,廣泛應(yīng)用于各種金屬半導(dǎo)體材料,和相變材料研究;
3、測(cè)試數(shù)據(jù)量大且完整,變溫過程中持續(xù)采集,電阻率數(shù)據(jù)每秒采集兩次。
4、設(shè)備體積小,操作簡(jiǎn)單,維護(hù)方便。
5、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定,數(shù)據(jù)平滑,重復(fù)性高。
詳細(xì)介紹
圖1-1 RMS-600系統(tǒng)組成
RMS_1000變溫電阻率測(cè)試系統(tǒng)采用PID溫控表控制特制的加熱棒加熱,變溫過程中對(duì)樣品進(jìn)行電阻率的連續(xù)采集,從而繪制處樣品在變溫過程中的電阻率聯(lián)系變化曲線。
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
測(cè)試參數(shù) | ||
1 | 測(cè)試物理量 | 變溫過程中電阻率連續(xù)采集 |
2 | 樣品要求 | L≥10mm;W≥3mm;T≥50nm (適用與塊狀、片狀和帶基底的薄膜樣品) |
3 | 電阻率測(cè)試誤差 | ≤10% |
4 | 重復(fù)測(cè)試誤差 | ≤3% |
5 | 電阻測(cè)量范圍 | Ω--Ω |
控溫參數(shù) | ||
6 | 溫度范圍 | RT-1000℃ |
7 | 溫度顯示精度 | 0.1℃ |
8 | 控溫精度 | ±0.2℃ |
9 | 加熱方式 | 特制加熱棒加熱 |
10 | 制冷方式 | 自然降溫 |
11 | 升溫速率 | (1-40)K/min程序控制(500℃) |
12 | 降溫速率 | (1-30)K/min程序控制(300℃) |
13 | 最大加熱功率 | 200W |
整機(jī)參數(shù) | ||
14 | 采集控制箱尺寸 | 366mm(W)*360mm(D)*160mm(H) |
15 | 測(cè)試裝置尺寸 | 180m*140mm*60mm(高) |
16 | 額定電壓 | 220V/50HZ |
17 | 整機(jī)功率 | 300w |
其它參數(shù) | ||
18 | 外殼冷卻方式 | 水循環(huán)冷卻 |
19 | 外殼最高溫度 | 40℃ |
20 | 測(cè)試氣氛 | 真空 |
21 | 真空度 | ≤1Pa |
22 | 真空容積 | 1L |
表 1.1 RMS-1000技術(shù)參數(shù)