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| 科研 | 探針臺 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
位移探針廣泛用于光刻器件的高低溫光電測試，可用于IV、介電常數(shù)、霍爾效應(yīng)、射頻、低溫電路等測試?？赏卣沟蜏販乜睾驼婵展苈纺K，實(shí)現(xiàn)液氦溫度測量。
位移探針臺的相關(guān)參數(shù)：
TS600E-OE | |||
制冷方式 | 無 | 正面觀察窗口大小 | φ41mm |
溫度范圍（℃） | -196到600℃ | 探針類型 | 探針后端XYZ軸方向位置可調(diào)，位移精度1um，位移范圍±6mm |
顯示精度（℃） | 0.1 | 探針材質(zhì) | 鎢鋼或鈹銅（探針針尖1um） |
控溫精度 | 0.1℃ | 探針數(shù)量 | 四個(gè)（可拓展為6個(gè)） |
樣品區(qū)域 | 30*35mm | 外觀尺寸 | 410*410*80mm |
最大加熱速率 | 50℃/min | 腔體凈重 | 5Kg |
最大冷卻速率 | -40℃/min | 備注 | 探針前端水平角度和長度可調(diào) |
顯微鏡的相關(guān)參數(shù)：
| 目鏡 | 高眼點(diǎn)廣角目鏡WF20X/10mm |
| 物鏡 | 內(nèi)置連續(xù)變倍物鏡0.7-4.5倍 |
| 觀察頭 | 雙目觀察頭，45度傾斜，瞳孔距調(diào)節(jié)范圍0.7-4.5倍 |
| 放大倍率 | 連續(xù)變倍7-90X |
| 照明光源 | 可調(diào)節(jié)亮度LED光源 |
| 工作距離 | 100mm |
| 調(diào)節(jié)范圍 | 立桿高度380mm，升降范圍50mm |
圖1 TS600E-OE尺寸圖 圖2 位移探針臺樣品觀測圖
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