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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
RMS-1000中高溫變溫電阻測(cè)試設(shè)備有以下特點(diǎn):
1、變溫范圍廣，常溫到高溫1000℃全覆蓋，且變溫過程中升降溫速率可控。
2、測(cè)試精度高范圍廣，電阻測(cè)量范圍0.01uΩ到1200MΩ，廣泛應(yīng)用于各種金屬半導(dǎo)體材料，和相變材料研究。
3、測(cè)試數(shù)據(jù)量大且完整，變溫過程中持續(xù)采集，電阻率數(shù)據(jù)每秒采集兩次。
4、中高溫變溫電阻測(cè)試設(shè)備體積小，操作簡(jiǎn)單，維護(hù)方便。
5、測(cè)量結(jié)果穩(wěn)定，數(shù)據(jù)平滑，重復(fù)性高。
圖1-1 RMS-600系統(tǒng)組成
RMS_1000變溫電阻率測(cè)試系統(tǒng)采用PID溫控表控制特制的加熱棒加熱，變溫過程中對(duì)樣品進(jìn)行電阻率的連續(xù)采集，從而繪制處樣品在變溫過程中的電阻率聯(lián)系變化曲線。
序號(hào) | 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
測(cè)試參數(shù) | ||
1 | 測(cè)試物理量 | 變溫過程中電阻率連續(xù)采集 |
2 | 樣品要求 | L≥10mm；W≥3mm；T≥50nm （適用與塊狀、片狀和帶基底的薄膜樣品） |
3 | 電阻率測(cè)試誤差 | ≤10% |
4 | 重復(fù)測(cè)試誤差 | ≤3% |
5 | 電阻測(cè)量范圍 | |
控溫參數(shù) | ||
6 | 溫度范圍 | RT-1000℃ |
7 | 溫度顯示精度 | 0.1℃ |
8 | 控溫精度 | ±0.2℃ |
9 | 加熱方式 | 特制加熱棒加熱 |
10 | 制冷方式 | 自然降溫 |
11 | 升溫速率 | （1-40）K/min程序控制（500℃） |
12 | 降溫速率 | （1-30）K/min程序控制（300℃） |
13 | 最大加熱功率 | 200W |
整機(jī)參數(shù) | ||
14 | 采集控制箱尺寸 | 366mm（W）*360mm（D）*160mm（H） |
15 | 測(cè)試裝置尺寸 | 180m*140mm*60mm（高） |
16 | 額定電壓 | 220V/50HZ |
17 | 整機(jī)功率 | 300w |
其它參數(shù) | ||
18 | 外殼冷卻方式 | 水循環(huán)冷卻 |
19 | 外殼最高溫度 | 40℃ |
20 | 測(cè)試氣氛 | 真空 |
21 | 真空度 | ≤1Pa |
22 | 真空容積 | 1L |
表 1.1 RMS-1000技術(shù)參數(shù)
