HP300烤膠機(jī)是針對(duì)半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計(jì)的一款產(chǎn)品，采用新穎的數(shù)字式加熱設(shè)計(jì)，可以精*的控制表面溫度；堅(jiān)固耐腐蝕的鋁合金面板，優(yōu)異的導(dǎo)熱性可以滿(mǎn)足多種應(yīng)用場(chǎng)景；數(shù)字式顯示器可迅速編碼準(zhǔn)確控制溫度；獨(dú)立的防過(guò)熱電路設(shè)計(jì)，確保實(shí)驗(yàn)安全。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、采用高精度微處理器，溫度控制更加準(zhǔn)確；

2、HP300烤膠機(jī)可同時(shí)顯示設(shè)定溫度和實(shí)際溫度，*高溫度可達(dá)325℃ ；

3、外觀小巧精致，高度162mm，更適宜通風(fēng)櫥使用；

4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可靠性高，元器件均做防腐蝕處理；

5、加熱部件與元器件分離設(shè)計(jì)，確保安全。

技術(shù)規(guī)格：

溫度范圍：RT~300℃（150℃請(qǐng)勿合蓋）

加熱面板尺寸：220×220mm

加熱板材質(zhì)：鋁合金

樣品尺寸：≤8寸晶圓

溫度均一性：≤±1%

溫度穩(wěn)定性：±0.2℃

控溫精度：±0.2℃

烘烤方式：接觸式烘

外觀尺寸：350（W)*250（D)*162(H)mm

烤膠機(jī)與傳統(tǒng)的烘箱、真空干燥箱相比，利用烤膠機(jī)固化膜層的優(yōu)勢(shì)有：

1、烘烤時(shí)間減少；

2、重復(fù)性高；

3、對(duì)薄膜的固化效果好；

4、烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻，對(duì)基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上，所以不會(huì)“皮膚效應(yīng)"。這種“由里而外"的固化方式尤其適合較厚的膜層，因?yàn)榭拷哪訒?huì)首先固化好，然后是膜層靠外的部分。該款烤膠機(jī)由于升溫迅速，所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計(jì)算，而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時(shí)計(jì)算。