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分享TS120冷熱臺(tái)的維護(hù)保養(yǎng)方法
閱讀：400 發(fā)布時(shí)間：2022-9-26
冷熱臺(tái)主要使用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精細(xì)電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)工夫和器件制造工藝成本。TS120冷熱臺(tái)能方便、準(zhǔn)確、快速地找到放置在安裝臺(tái)上的樣品上所需要測(cè)試點(diǎn)，比如三極管的基區(qū)、發(fā)射區(qū)等，將探針和測(cè)試點(diǎn)可靠接觸，將配套測(cè)試儀器上設(shè)置的測(cè)試條件通過探針加到被測(cè)試管芯上，實(shí)現(xiàn)對(duì)管芯參數(shù)測(cè)試的目的。
在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)和研制過程中，需要對(duì)芯片樣品的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行過程測(cè)試和終端測(cè)試，完成測(cè)試所需的測(cè)試對(duì)準(zhǔn)。所采用的自動(dòng)定位方法不僅節(jié)省了人力成本，提高了定位精度，又大大地提升了其工作效率。
x-y向工作臺(tái)是TS120冷熱臺(tái)中核心的部分，該產(chǎn)品的故障很多是維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的，所以對(duì)該產(chǎn)品的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。
平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺(tái)，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上，而可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)，由于動(dòng)子和定子間無相對(duì)摩擦故無磨損，使用壽命長(zhǎng)。
而定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報(bào)廢。
由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是*暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。
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