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烤膠機(jī)與真空干燥箱相比有哪些優(yōu)點(diǎn)？
閱讀：1004 發(fā)布時(shí)間：2021-5-19
烤膠機(jī)是針對(duì)半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)中晶圓烘烤而設(shè)計(jì)的一款產(chǎn)品，烤膠機(jī)可在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進(jìn)行熱老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗(yàn)用。與傳統(tǒng)的真空干燥箱相比，利用烤膠機(jī)固化膜層的優(yōu)勢(shì)有：
（1）烘烤時(shí)間減少；
（2）重復(fù)性高；
（3）對(duì)薄膜的固化效果好。
烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻，對(duì)基片膜層固化效果非常好。由于固化是從下往上，所以不會(huì)“皮膚效應(yīng)”。這種“由里而外”的固化方式尤其適合較厚的膜層，因?yàn)樽羁拷哪訒?huì)首先固化好，然后是膜層靠外的部分。該設(shè)備由于升溫迅速，所以產(chǎn)量較高。烘烤時(shí)間用秒計(jì)算，而不是像傳統(tǒng)烘箱用分鐘或者小時(shí)計(jì)算。
TC-V300烤膠機(jī)外觀小巧精致，采用高精度微處理器，溫度控制更加準(zhǔn)確，升溫速率可控，可編輯多段溫度曲，線烘烤時(shí)間短、重復(fù)性高和薄膜固化效果好。