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是德keysight 55282A 平坦度輔助套件

HIGHLIGHTS

大量程

• /高 15 m（50 英尺）

精度

• 顯示值的 ±0.2%

分辨率（按英尺步進(jìn)）

• 0.002 μm（2 英寸）
• 0.003 μm（4 英寸）
• 0.005 μm（6 英寸）

參考面精度

• 平板平坦度測量的不確定度受兩個平行面的限制：
  - 公制單位模式：0.03 M2 µm，其中 M 為表面對角線長度（單位：米）
  - 英制單位模式：0.12 F2 µin，其中 F 為表面對角線長度（單位：英尺）

Keysight 55282A 平坦度輔助套件與 55281A 角度光學(xué)套件結(jié)合使用，支持 5530 激光校準(zhǔn)系統(tǒng)執(zhí)行平坦度和導(dǎo)軌直線度測量。

55282A 平坦度輔助套件由一個 10759A 底座支持套件和兩個 10773A 平面鏡組成。底座支持套件包括三個精密底板，焊盤間距分別為 50.8 mm（2 英寸）、101.6 mm（4 英寸）和 152.4 mm（6 英寸），這樣可以大限度地縮短平板校準(zhǔn)所需要的網(wǎng)格設(shè)置和數(shù)據(jù)累積時間。平面鏡可以提供 100% 的反射率，使入射激光束的方向旋轉(zhuǎn) 90 度。

Keysight 55282A 平坦度輔助套件是光學(xué)測量器件系列的一個元器件，可對干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行量身定制，以滿足各種應(yīng)用的物理版圖和測量要求。通過配備恰當(dāng)?shù)募す忸^和系統(tǒng)電子元件，這個光器件可整合到精密定位或校準(zhǔn)系統(tǒng)中，用于改善產(chǎn)品質(zhì)量，提高良率，以及促進(jìn)精密產(chǎn)品的制造。

• 使用旋轉(zhuǎn)底板安裝平面鏡，可以簡化平板校準(zhǔn)
• 與傳統(tǒng)的自動準(zhǔn)直儀和水平儀相比，測量和分析速度更快，精度和可重復(fù)性更高
• 平板表面上不能放置發(fā)熱物體

是德keysight 55282A 平坦度輔助套件