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SuperViewW1白光輪廓儀具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內,確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。儀器采用白光干涉技術,結合具有抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié),隨意翻轉縮放,觀察、測量樣品的任意特征。
產品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。
2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。
SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,讓3D測量變得簡單??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。