當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測(cè)量?jī)x>>激光干涉儀>> SJ6000激光干涉儀
中圖儀器SJ6000激光干涉儀可對(duì)機(jī)床進(jìn)行校準(zhǔn),并提供數(shù)據(jù)補(bǔ)償依據(jù),是高品質(zhì)測(cè)量?jī)x器產(chǎn)品。
它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時(shí);采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測(cè)量速度,以及納米級(jí)的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語(yǔ)言,友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、?jiǎn)潔化的記錄管理。
產(chǎn)品功能
1. 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量;
2. 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3. 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn);
4. 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
5. 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
6. 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
激光的高方向性、高相干性和高單色性特點(diǎn),使其具有普通光源所沒(méi)有的優(yōu)勢(shì)。SJ6000激光干涉儀測(cè)量分辨率0.01″,系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″,基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。
SJ6000主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無(wú)線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。它采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。