光學輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。
光學輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣泛。是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的,是接觸測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評定標準讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀,且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷,為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。
光學輪廓儀的原理:
輪廓儀是通過儀器的觸針與被測表面的滑移進行測量的,是接觸測量。其主要優(yōu)點是可以直接測量某些難以測量到的零件表面,如孔、槽等的表面粗糙度,又能直接按某種評定標準讀數(shù)或是描繪出表面輪廓曲線的形狀,且測量速度快、結(jié)果可靠、操作方便。但是被測表面容易被觸針劃傷,為此應(yīng)在保證可靠接觸的前提下盡量減少測量壓力。
精度保證由液壓或者氣浮導軌等高精密裝置完成
輪廓儀按傳感器的工作原理分為電感式、感應(yīng)式以及壓電式多種。儀器由傳感器、驅(qū)動箱、電器箱等三個基本部件組成。