集成電路用超純水設(shè)備

集成電路用超純水設(shè)備特點(diǎn)：

1、產(chǎn)水水質(zhì)高，出水穩(wěn)定

2、連續(xù)不間斷制水，不因再生而停機(jī)

3、自動(dòng)化程度高，遇故障立即自停，具有自動(dòng)保護(hù)功能

4、不須酸堿再生，無污水排放，無酸堿再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲(chǔ)運(yùn)

5、*的膜保護(hù)系統(tǒng)，關(guān)機(jī)時(shí)可自動(dòng)沖洗膜面污染物，延長膜使用壽命

6、能耗低，水利用率高，運(yùn)行費(fèi)用及維修成本低

7、設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，節(jié)省基建投資

超純水設(shè)備技術(shù)參數(shù)

材質(zhì)：不銹鋼/玻璃鋼

超純水設(shè)備使用說明

EDI (連續(xù)電解除鹽技術(shù)) ：是一種將離子交換技術(shù)、離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)。EDI設(shè)施的除鹽率可以高達(dá)99%以上，如果在EDI之前使用反滲透設(shè)備對水進(jìn)行初步除鹽，再經(jīng)EDI除鹽就可以生產(chǎn)出電阻率高達(dá)15MΩ. CM以上的超純水。

FEDI：獨(dú)立的分段設(shè)計(jì)，進(jìn)水要求低，產(chǎn)水電導(dǎo)率40us/cm以下的單級(jí)反滲透既可以滿足供水要求。使用不同的電壓驅(qū)動(dòng)，對強(qiáng)弱離子分離去除，為去離子創(chuàng)造良好條件，產(chǎn)水導(dǎo)電率可達(dá)0. 1us/cm以下。濃水可回收至反滲透系統(tǒng)，綜合回收率高達(dá)90%-95%。

拋光混床：一般情況用在工藝末端，用來進(jìn)一步提高產(chǎn)水水質(zhì)。采用高交換容量、充分再生、無化學(xué)析出的核子級(jí)樹脂，去除純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)，使水質(zhì)達(dá)到18MΩ. CM以上。

電子超純水設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)紫外殺菌處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。出水水質(zhì)符合我國電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn))。