產(chǎn)地類(lèi)別 |
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德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái),掃描顯微鏡,共聚焦顯微鏡,掩模/晶圓定位,表面測(cè)量技術(shù),納米壓印,顯微操縱,圖像處理/穩(wěn)定
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP
德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP
應(yīng)用領(lǐng)域:
掃描顯微鏡
共聚焦顯微鏡
掩模/晶圓定位
表面測(cè)量技術(shù)
納米壓印
顯微操縱
圖像處理/穩(wěn)定
產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào):P-733.3CDP
主動(dòng)軸:X、Y、Z
集成傳感器:電容式
-20至120 伏時(shí)的開(kāi)環(huán)行程:115 微米×115 微米×12 微米
行程,閉環(huán):100 微米×100 微米×10 微米
分辨率,開(kāi)環(huán):0.2(Z向上為0.1)納米
分辨率,閉環(huán):0.3(Z向上為0.2)納米
線(xiàn)性誤差(X、Y):0.03%
線(xiàn)性誤差(Z):0.03%
重復(fù)精度(X、Y):<2納米
重復(fù)精度(Z):<1納米
螺距(X、Y):<±3微弧度
偏轉(zhuǎn)角(X、Y):<±10微弧度
Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜:<±5微弧度
剛度:1.4(Z向上為9)牛/微米
諧振頻率,空載:460(Z向上為1400)赫茲
帶120 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率:340(Z向上為1060)赫茲
帶200 克負(fù)載時(shí)的諧振頻率:295(Z向上為650)赫茲
運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力:50/20牛
德國(guó)PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷納米定位器 P-733.3CDP