德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-825.G2A

一、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、30公斤負(fù)載能力

2、±27.5毫米直線行程，±11.5度旋轉(zhuǎn)行程

3、X軸，Y軸，Z軸方向位移0.25微米

4、重復(fù)精度±0.1微米/±2微弧度

5、搭載無刷直流電機(jī)和編碼器

二、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

H-825.G2A六足位移臺主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榭蒲蓄I(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域，用于微型裝配，生物技術(shù)，半導(dǎo)體制造，光學(xué)對準(zhǔn)。

三、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品參數(shù)：

行程參數(shù)：

主動軸：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±27.5；±25毫米

Z向上的行程：±14毫米

θX、θY向上的行程：±11.5；±10.5度

θZ向上的行程：±19度

精度參數(shù)：

設(shè)計分辨率：0.008微米

X、Y和Z向上的位移：0.3；0.3；0.25微米

θX、θY、θZ向上的位移：3.5；3.5；4微弧度

X、Y向上的空回：3微米

Z向上的空回：1微米

θX、θY向上的空回：20微弧度

θZ向上的空回：25微弧度

X、Y向上的重復(fù)精度：±0.5；±0.25微米

Z向上的重復(fù)精度：±0.1微米

θX、θY向上的重復(fù)精度：±2微弧度

θZ向上的重復(fù)精度：±2.5微弧度

X、Y和Z向上的速度：2.5毫米/秒

θX、θY和θZ向上的速度：27毫弧度/秒

X、Y和Z向上的典型速度：2毫米/秒

θX、θY和θZ向上的典型速度：5.5毫弧度/秒

負(fù)載參數(shù)：

負(fù)載能力（底板為水平方向/任意方向）：30/10千克

保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）：300/150牛

其他參數(shù)：

工作溫度范圍：-10到50攝氏度

質(zhì)量：10千克

電機(jī)類型：無刷直流電機(jī)

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-825.G2A