詳細(xì)介紹
日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器UCD系列
- 過(guò)濾器材料全部采用SUS316L,不用擔(dān)心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時(shí)具備較高的耐熱性能。
- 使用氮?dú)猓∟2)輸入,當(dāng)過(guò)濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時(shí),輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
- 固定或脈動(dòng)方式下過(guò)濾精度經(jīng)CNC確認(rèn)達(dá)到0.003μm,實(shí)現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
日本pureron低壓力損失金屬氣體過(guò)濾器UCD系列
規(guī)格
過(guò)濾精度 | 0.003μm |
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推薦流量 | 10~100?/min(各型號(hào)區(qū)別:參考流量特性曲線) |
最高使用壓力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
最大容許差壓 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
最高使用溫度 | 460℃ |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 |
構(gòu)成材料 | 外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
連接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |