日本tekhne密閉的露點(diǎn)計(jì),SF6純度測(cè)量?jī)xMBW973-SF6
特征
抽查
SF6氣體的露點(diǎn)控制
氣體變壓器/氣體斷路器
氣體絕緣開(kāi)關(guān)柜
半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝
SF6氣體回收再利用
主要用途
日本tekhne密閉的露點(diǎn)計(jì),SF6純度測(cè)量?jī)xMBW973-SF6
特點(diǎn)
環(huán)保測(cè)量?jī)x
SF6(六氟化硫)氣體是一種溫室氣體,其溫室氣體排放目標(biāo)是《京都議定書(shū)》設(shè)定的,據(jù)說(shuō)其溫室效應(yīng)約為每單位體積CO 2的 23,400倍。SF6氣體在斷路器,變壓器,半導(dǎo)體工藝等中用作絕緣氣體。為了保持其絕緣性,必須測(cè)量水含量和SF6純度。
另一方面,迄今為止,在日本,在測(cè)量時(shí)將其釋放到大氣中,或者在不釋放的情況下以高成本進(jìn)行收集和分解是很普遍的。通過(guò)使用MBW973-SF6,可以將測(cè)得的SF6氣體按原樣返回原始設(shè)備,而不會(huì)釋放到大氣中,并將大氣排放降低到零。
高精度測(cè)量
迄今為止,由于容易獲得,因此一直使用電容類(lèi)型。另一方面,MBW973-SF6使用高精度鏡面法進(jìn)行露點(diǎn)和純度測(cè)量,并可以以高響應(yīng)速度執(zhí)行±0.5°C和0.5%的高精度測(cè)量,并且隨時(shí)間的推移幾乎沒(méi)有劣化。是。通過(guò)使用該設(shè)備,可以大大減少操作員的工作時(shí)間,并且可以輕松地執(zhí)行可靠的測(cè)量。
SO 2測(cè)量選項(xiàng)
SF6氣體與水反應(yīng)以純化HF氣體和SO 2氣體。MBW973-SF6 能夠測(cè)量0-100ppm或0-500ppm范圍內(nèi)的SO 2。該傳感器使用電化學(xué)電池,并且可以以滿量程的±2%的精度進(jìn)行測(cè)量。