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詳細介紹
日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500
氧氣分析儀MS-500
- 多可同時測量8個點
- 濃度顯示范圍很廣，從ppm到100％。
- 非常適合安裝在半導體制造設備，真空設備等上。
- 傳感器為直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器，可進一步提高耐用性
日本東麗toray半導體，電子元件氧氣分析儀MS-500
MS-500設備規(guī)格
| 測量原理 | 氧化鋯濃縮池類型 | ||
|---|---|---|---|
| 形狀 | 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） | ||
| 顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） | ||
| 測量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自動量程 | ||
| 重復性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以較大者為準小于0-1％范圍0-1ppm，atm范圍超出保證的濃度范圍 | ||
| 測量點數(shù) | 1?8 | ||
| 樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） | |
| 流量 | 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自發(fā)擴散狀態(tài)的測量） | ||
| 濕度 | 露點低于環(huán)境溫度 | ||
| 溫度 | 0-100°攝氏度 | ||
| 其他 | 請勿包含腐蝕性氣體（氟氣，氯氣，硫化物氣等），含有機硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 | ||
| 比較氣 | 大氣層 | ||
| 記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 | ||
| 變速箱輸出 | RS-232C | ||
| 報警輸出 | 沒有 | ||
| 熱身時間 | 6分鐘以內(nèi) | ||
| 尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 總長100mm（感應部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） | |
| SD25NW | 總長100 mm（感應部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） | ||
| SD40NW | 總長100mm（感應部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） | ||
| 大眾 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg | |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 約0.5kg | ||
| 傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg | |
| SD25NW | 約0.2Kg | ||
| SD40NW | 約0.35Kg | ||
| 外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） | ||
| 使用電源 | 24VDC±10％ | ||
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