日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3

在利用光散射的掩模版/掩模異物檢查裝置中，重要的技術(shù)要素是區(qū)分來自異物的散射光（異物光）和來自圖案的散射/衍射光（圖案光）。在PD系列中，我們主要將散射光的偏振特性用于判別。在初的設(shè)備中，使用了光學(xué)系統(tǒng)的布置和偏振片對(duì)圖案光的消光，在下一個(gè)系列中，使用了熄滅圖案光的檢測器與熄滅外來光的檢測器之間的信號(hào)強(qiáng)度比。此外，近的模型集中于圖案光和異物光的信號(hào)形狀來執(zhí)行信號(hào)處理。xin的PRPD3采用了一種判別方法，該方法涵蓋了傳統(tǒng)判別方法的優(yōu)點(diǎn)，并將其用作可以處理更多模式的信號(hào)處理方法。

日本日新化成粉體異物檢查裝置PIE-C3

PIE-C3で検査することのメリット

検査制度の信頼性

• 測定者の能力による誤差が無くなる。
• 検査精度にすぐれ、データの信頼性が高い。
• 操作が簡単で約15分（100g検體）でカラーカメラでの検査が可能（分解能：約20、事項(xiàng)検出力：50を保証）

検査データの客観性

• データの共有化、他社との互換性に生かせる。
• 検出異物の畫像を付屬PCへ取り込み、異物の畫像管理が容易。

経済性?作業(yè)効率

• 操作が簡単でしかも短時(shí)間に検體の処理ができる。
• 拘束時(shí)間が少なく、併行して他の仕事が行える。
• 検査工數(shù)の削除につながる。
• 測定者の疲労が少ない。