日本電測(cè)densoku熒光X射線(xiàn)膜測(cè)厚儀EX-731
極小面積的高精度測(cè)量和出色的可操作性
大尺寸基板的測(cè)量
?通過(guò)使用雙重過(guò)濾器以gao精度和jia佳條件進(jìn)行
測(cè)量
?通過(guò)將鼠標(biāo)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量位置來(lái)快速對(duì)準(zhǔn)?多任務(wù)功能甚至在測(cè)量過(guò)程中也可以創(chuàng)建報(bào)告等其他處理
?小準(zhǔn)直儀可以測(cè)量直徑為0.05毫米的極小零件

日本電測(cè)densoku熒光X射線(xiàn)膜測(cè)厚儀EX-731

 

熒光X射線(xiàn)膜測(cè)厚儀EX-731的特點(diǎn)

采用雙重過(guò)濾器

通過(guò)使用除數(shù)值濾波器以外的機(jī)械濾波器（雙重濾波器），可以在jia條件下進(jìn)行測(cè)量，從而始終獲得gao的精度。

自動(dòng)測(cè)量階段

通過(guò)將鼠標(biāo)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量位置來(lái)實(shí)現(xiàn)快速對(duì)準(zhǔn)。如果注冊(cè)測(cè)量位置，則可以進(jìn)行連續(xù)自動(dòng)測(cè)量。坐標(biāo)校正和通道鏈接支持各種模式。標(biāo)準(zhǔn)板校準(zhǔn)也可以自動(dòng)測(cè)量。

完整的報(bào)告創(chuàng)建功能

通過(guò)采用MS-Windows軟件，可以輕松捕獲測(cè)量屏幕，并增強(qiáng)報(bào)告創(chuàng)建功能。使用多任務(wù)功能，即使在測(cè)量期間也可以進(jìn)行包括報(bào)告創(chuàng)建在內(nèi)的其他處理。

5種準(zhǔn)直儀

小準(zhǔn)直儀為0.1φmm，可以測(cè)量極小的零件。標(biāo)準(zhǔn)，0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外，有兩種特殊規(guī)格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自診斷功能和X射線(xiàn)管維護(hù)功能

使用自診斷功能，可以迅速解決設(shè)備故障。此外，增加了顯示X射線(xiàn)管使用時(shí)間和使用壽命的功能，以支持維護(hù)安全。

膜厚測(cè)量中的頻譜顯示

通過(guò)多通道進(jìn)行光譜分析高速處理使顯示被測(cè)物的光譜變得容易。（處理速度約2-3秒）

在測(cè)量部分顯示監(jiān)控圖像

在Windows屏幕上捕獲X射線(xiàn)照射單元并顯示X射線(xiàn)照射單元。準(zhǔn)直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。

可視顯示測(cè)量對(duì)象的鍍層附著力分布

三維圖形顯示可輕松查看測(cè)量對(duì)象的鍍層厚度分布。

 

 

Be 窗口X射線(xiàn)管（選件）提高的性能（高精度）

我們已經(jīng)為熒光X射線(xiàn)膠片厚度計(jì)準(zhǔn)備了Be窗口X射線(xiàn)管。

通過(guò)使用Be窗口X射線(xiàn)管，Cr測(cè)量和Ni測(cè)量的重復(fù)測(cè)量精度顯著提高。

 

與標(biāo)準(zhǔn)X射線(xiàn)管的比較

Sn等的高能量（高原子序數(shù)）測(cè)定與以前相同。

當(dāng)測(cè)量低能量（低原子序數(shù)）的Cr和Ni時(shí)，Cr的重復(fù)性提高了約3倍，Ni的重復(fù)性提高了約2倍。

當(dāng)測(cè)量?jī)蓪訒r(shí)，中間層中Ni的測(cè)量精度提高了約20％。

通過(guò)使用Be窗口X射線(xiàn)管，Cr的熒光X射線(xiàn)強(qiáng)度比常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的熒光X射線(xiàn)強(qiáng)度高大約9倍。

因此，可以在短時(shí)間內(nèi)以與以前相同的精度進(jìn)行測(cè)量。

請(qǐng)考慮使用此Be窗口X射線(xiàn)管。

 日本電測(cè)densoku熒光X射線(xiàn)膜測(cè)厚儀EX-731

熒光X射線(xiàn)膜厚計(jì)EX-731的規(guī)格

類(lèi)型			手動(dòng)階段	電動(dòng)舞臺(tái)
測(cè)量頭	尺寸（毫米）		170 x 110	300 x 280
	運(yùn)動(dòng)量	X（毫米）	70	80
		Y（毫米）	70	60
		Z（毫米）	80（大物體高度150）	50
	被測(cè)物體高度（大）		80（選件150）	50
	尺寸（毫米）		600（寬）x 465（深）x 730（高）
	重量（公斤）		79	85
	樣品負(fù)荷（kg）		3	2
電腦	尺寸（毫米）		機(jī)身182（W）x 383（D）x 372（H） /顯示器412（W）x 415（D）x 432（H）
	重量（公斤）		主機(jī)6.8 /顯示器2.8
打印機(jī)	重量（公斤）		3.4
電源供應(yīng)	AC100V±10V的

（注）規(guī)格如有變更，恕不另行通知。

X射線(xiàn)源	油浸式微聚焦X射線(xiàn)管 靶：鎢 管電壓50kV， 管電流可變
照射方式	頂部垂直照射法
探測(cè)器	比例柜臺(tái)
準(zhǔn)直儀	5種（自動(dòng)切換類(lèi)型） 0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm （選件）：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5 ，φ  ：0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ
樣品觀察	CCD彩色相機(jī)
電腦	兼容PC / AT的 17英寸彩色顯示器
打印機(jī)	噴墨打印機(jī)
測(cè)量對(duì)象	原子序數(shù)22（Ti）至82（Pb） 原子序數(shù)21以下可通過(guò)吸收法測(cè)定
過(guò)濾	2種（Co，Ni）自動(dòng)切換
可測(cè)范圍	原子數(shù)22至24：0.02至約20μm 原子數(shù)25至40：0.01至約30μm 原子數(shù)41至51：0.02至約70μm 原子數(shù)52至82：0.05至約10μm
校正曲線(xiàn)	自動(dòng)校準(zhǔn)曲線(xiàn)創(chuàng)建功能 多點(diǎn)校準(zhǔn)曲線(xiàn)
校正功能	基礎(chǔ)校正
應(yīng)用	單層鍍層測(cè)量 兩層鍍層測(cè)量 三層鍍層測(cè)量 合金膜厚成分比同時(shí)測(cè)量 化學(xué)鍍鎳測(cè)量
測(cè)量功能	自動(dòng)測(cè)量 輸出格式設(shè)置 頻譜測(cè)量 兩點(diǎn)之間的距離測(cè)量
自動(dòng)表功能	測(cè)量位置（XYZ） 相同圖案重復(fù)功能 原點(diǎn)校正功能 測(cè)量位置確認(rèn)功能 自動(dòng)校準(zhǔn)
數(shù)據(jù)處理功能	統(tǒng)計(jì)顯示：平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差，大值，小值，范圍，Cp，Cpk 直方圖 輪廓顯示 測(cè)量數(shù)據(jù)三維顯示 x-R控制圖
安全功能	X射線(xiàn)電源鑰匙開(kāi)關(guān) 故障安全功能
其他特性	平臺(tái)坐標(biāo)顯示 密碼功能 設(shè)備維護(hù)