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詳細(xì)介紹
日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。
原始的主動振動隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動。
超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè)，前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。
在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí)，安裝臺的激振力所產(chǎn)生的振動也會同時(shí)衰減。
- 無共振的振動傳遞特性。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
- 具有6個(gè)自由度的高精度位置控制可確保穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
- 可以選擇能夠應(yīng)對較大移動負(fù)載的高速響應(yīng)大流量閥。
- 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
- 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。
- 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作需要精細(xì)處理的晶片的振動對策以及用于移動晶片的臺架的振動對策。
- 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在機(jī)架和工作臺明顯移動時(shí)快速衰減振動，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。
- 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺上的振動，該工作臺用于精密加工，同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動。
日本昭和ssvi主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型
| 模型 | 可安裝質(zhì)量（1個(gè)單位） | 尺寸（1個(gè)單位） |
|---|---|---|
| VAAV-550A | 270?900公斤 | 215（寬）x 160（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-1000A | 500-1700公斤 | 225（寬）x 210（深）x 170（高）毫米 |
| VAAV-2200A | 1100-3700公斤 | 280（寬）x 240（深）x 208（高）毫米 |
| VAAV-4000A | 2100-7000公斤 | 330（W）x 270（D）x 208（H）毫米 |
| VAAV-10000A | 5000?17,000公斤 | 465（寬）x 400（深）x 240（高）mm |
| VAAV-20000A | 11400-38,000公斤 | 600（W）x 600（D）x 284（H）毫米 |
| VAAV-30000A | 15,000-50000公斤 | 700（W）x 700（D）x 182（H）毫米 |
| HA-450水平執(zhí)行器 | 480（寬）x 365（深）x 405（高）毫米 | |
- *防震臺的標(biāo)準(zhǔn)配置為4單位/ 1單位。
- * HA-450是與VAAV-30000A組合使用的臥式執(zhí)行器。
- *表中的大值可以在沒有均勻負(fù)載和沒有動態(tài)負(fù)載的情況下應(yīng)用。
| 控制器 SAC-07 |  300（W）x 300（D）x 118（H）毫米 |
|---|---|
| 電源供應(yīng) | AC100V-240V 100VA（單相） |
| 電源線 | 3m |
| 調(diào)節(jié)器 RGU-07 | 250（W）x 100（D）x 200（H）毫米 |
| 單元連接電纜 | 5m |
| 自由度 | 3軸6自由度 |
|---|
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