化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
TEAC稱重傳感器用于半導(dǎo)體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹
閱讀：792 發(fā)布時間：2023-9-22TEAC稱重傳感器用于半導(dǎo)體/FPD制造工藝的產(chǎn)品介紹
拉錠
多晶在石英坩堝中熔化，并在旋轉(zhuǎn)籽晶棒的同時進(jìn)行拉晶，
以形成單晶棒（使用 CZ 法拉晶錠）。
拉力機(jī)用稱重傳感器
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
單晶生長稱重傳感器
能夠測量微小負(fù)載的兩級式
抗噪音及過載保護(hù)功能
拉力機(jī)
TT-XNS / TT-XNS(G)稱重傳感器
單晶生長稱重傳感器
過載保護(hù)
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-PGRH□□N/KN-G
用于拉制大直徑硅片
超高精度
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-PGRS□□N/KN-G
用于拉制大直徑硅片
高精準(zhǔn)度
切割錠
晶圓是通過使用金剛石刀片將錠切割至定厚度而制成的。
負(fù)載測功機(jī)/稱重傳感器
數(shù)顯指示器
TD-700T
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
稱重
傳感器信號調(diào)節(jié)器
TD-SC1
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡(luò)
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）通過PC設(shè)置/監(jiān)控
晶圓拋光
研磨并拋光晶圓表面。
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-NR-C□□KN-G
薄型氣密結(jié)構(gòu)、緊湊、輕量、
連接器式
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TU-GR ? KN-G
薄型、剪切型、中心孔型
抗偏心/抗疲勞
數(shù)顯指示器
TD-700T
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
晶圓平坦化 (CMP)
晶圓的表面經(jīng)過研磨和拋光，以平整任何不平整的地方。
拉伸/壓縮型稱重傳感器
TC-NSRSP(T)□□N-G3
采用耐彎曲的機(jī)器人電纜
通過使用濺射儀
實現(xiàn)高響應(yīng)和高穩(wěn)定性。
數(shù)顯指示器
TD-700T
標(biāo)準(zhǔn)型
各種保持功能
CC-Link
符合 TEDS 標(biāo)準(zhǔn)的彩色圖形
按壓/壓裝數(shù)字指示器
TD-9000T
多功能型
支持 2 個輸入：稱重傳感器 + 位移
以太網(wǎng)/IP
稱重
傳感器信號調(diào)節(jié)器
TD-SC1
內(nèi)置型
豐富的網(wǎng)絡(luò)
（EtherNet/IP?CC-Link?RS-485）通過PC設(shè)置/監(jiān)控