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如何進行半導體器件C-V特性測量
電容-電壓(C-V)測量廣泛用于測量半導體參數，尤其是MOS CAP和MOSFET結構，C-V 測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數。
C-V測試方法
進行 C-V 測量時，通常在電容兩端施加直流偏壓，同時利用一個交流信號進行測量。一般這類測量中使用的交流信號頻率在10KHz 到10MHz 之間。所加載的直流偏壓用作直流電壓掃描，掃描過程中測試待測器件待測器件的交流電壓和電流，從而計算出不同電壓下的電容值。
C-V測試系統(tǒng)
LCR表與待測件連接圖
MOS電容的C-V測試系統(tǒng)主要由源表、LCR 表、探針臺和上位機軟件組成。LCR 表支持的測量頻率范圍在 0.1Hz~30MHz。源表(SMU) 負責提供可調直流電壓偏置，通過偏置夾具盒CT8001 加載在待測件上。以PCA1000LCR表和吉時利2450源表組成的C-V 測試系統(tǒng)為例，可以滿足測量要求：
指標 | 參數 |
AC信號頻率范圍 | 10Hz - 1 MHz（CT8001） |
AC信號測試范圍 | 10mV - 2Vrms (1mVrms 分辨率 ) |
DC 信號測試范圍 | 0.01- 2V |
輸出阻抗 | 100Ω |
頻率輸出精度 | ±0.01%，5 位 |
基本測量精度 | ±0.08% |
測量速度 | 8ms |
直流電壓偏置范圍 | -200V - 200V |
直流偏壓調節(jié)分辨率 | 500nV |
直流偏壓設置精度 | 200uV |
CT8001 直流偏置夾具工作頻率 | 100Hz - 1MHz |
吉時利2450系統(tǒng)級應用優(yōu)勢
吉時利2450系統(tǒng)級應用優(yōu)勢
吉時利2450型觸摸屏數字源表是一款集I—V特性測試、曲線追蹤儀和半導體分析儀功能于一體的低成本數字源表。吉時利2450豐富的功能也讓它非常適合集成到自動測試系統(tǒng)中：
●嵌入式測試腳本處理器 (TSP)：它將完整的測度程序加載到儀器的非易失性存儲器，無需依賴外部PC控制器，產能更高。
●TSP-Link通信總線：支持測試系統(tǒng)擴展，實現多臺2450儀器和其他基于TSP技術儀器的系統(tǒng)拓展，拓展的測試系統(tǒng)多可連接32臺2450，在一臺主儀器的TSP控制下進行多點或多通道并行測試。
●兼容的2400工作模式：除了2450 SCPI工作模式， 2450還支持2400 SCPI工作模式，并兼容現有的2400 SCPI程序。這保護了用戶的軟件投資，避免儀器升級換代所帶來測試軟件的轉換工作。
●PC連接和自動化：后面板三同軸電纜連接端口、儀器通信接口（GPIB、USB 2.0和LXI/Ethernet）、D型9針數字I/O端口（用于內部/外部觸發(fā)信號及機械臂控制）、儀器安全互鎖裝置及TSP-Link連接端口簡化多儀器測試系統(tǒng)的集成。