Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件
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Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件
RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™
| 根據(jù)需要選擇 4 6 8 |
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| 根據(jù)需要選擇 2.24cc 4毫升 |
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| 根據(jù)需要選擇 右舵駕駛 左舵駕駛 后驅(qū) 底部驅(qū)動(dòng) |
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RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™
新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍™提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,坩堝覆蓋,自動(dòng)分度器(單獨(dú)出售)提供自動(dòng)定位功能。
特征
真正的 XY 清掃,坩堝覆蓋
源附帶的掃頻線圈
增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直
插件發(fā)射器模塊
增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅(jiān)固的設(shè)計(jì)
可選的自動(dòng)索引器
多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優(yōu)點(diǎn):
蒸發(fā)劑供應(yīng)量大 — 當(dāng)每個(gè)坩堝都填充相同的源材料時(shí),可以在單個(gè)真空循環(huán)中蒸發(fā)增加的蒸發(fā)劑體積。
在一個(gè)真空循環(huán)中沉積多達(dá)八種不同的材料 — 可以在一個(gè)真空循環(huán)中將不同的材料放入每個(gè)坩堝中,并按任何順序沉積。沉積速率與單個(gè)坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個(gè)坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭由驅(qū)動(dòng)手柄分度到位。因此,蒸發(fā)總是來(lái)自真空室中的相同的位置。非活性坩堝通過(guò)磁極片與加熱的坩堝隔開(kāi),從而消除了坩堝之間的污染。
兼容高真空
金屬和彈性體密封件,測(cè)量的基壓:2 x 10-9托。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部拆下,而無(wú)需拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。
所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上,單個(gè)或背對(duì)背。
規(guī)格
工作壓力 | 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇 |
光束電壓 | 4,000 伏 |
束流 | 0–750 mA 連續(xù)可變 |
最大功率 | 3,000 瓦 |
冷卻水 | 1.5 加侖/分鐘 |
最大烘烤溫度 | 120°C (150°F) |
坩堝體積 | 2.24 cc x 4、6 或 8 個(gè)坩堝 |
安裝配置
每個(gè) e-Gun™ 都提供三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置:
e-Gun™ 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上,使用標(biāo)準(zhǔn) OFE 銅墊圈
e-Gun™ 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座,可通過(guò) 1 英寸直徑的孔安裝,并由壓縮 O 形圈密封
單獨(dú)使用 e-Gun™,無(wú)需安裝法蘭
請(qǐng)?jiān)谙掠唵螘r(shí)安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。
通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀,請(qǐng)致電工廠了解更多信息。
型號(hào) | 坩堝 |
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RCR0304-SD | 4 |
RCR0304-BD | 4 |
RCR0306-SD | 6 |
RCR0306-BD | 6 |
RCR0308-SD | 8 |
RCR0308-BD | 8 |
注意:SD 表示側(cè)驅(qū),BD 表示底驅(qū)
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