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Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件

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產(chǎn)品型號(hào)RCR系列

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-09-12 14:57:09瀏覽次數(shù):122次

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Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件
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Thermionics 3KW多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍真空組件

RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™


RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)噴槍™

新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉(zhuǎn)電子槍™提供增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的 XY 掃描,坩堝覆蓋,自動(dòng)分度器(單獨(dú)出售)提供自動(dòng)定位功能。

特征

  • 真正的 XY 清掃,坩堝覆蓋

  • 源附帶的掃頻線圈

  • 增強(qiáng)的光束準(zhǔn)直

  • 插件發(fā)射器模塊

  • 增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻

  • 交叉污染屏蔽

  • 堅(jiān)固的設(shè)計(jì)

  • 可選的自動(dòng)索引器

多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優(yōu)點(diǎn):

  • 蒸發(fā)劑供應(yīng)量大 — 當(dāng)每個(gè)坩堝都填充相同的源材料時(shí),可以在單個(gè)真空循環(huán)中蒸發(fā)增加的蒸發(fā)劑體積。

  • 在一個(gè)真空循環(huán)中沉積多達(dá)八種不同的材料 — 可以在一個(gè)真空循環(huán)中將不同的材料放入每個(gè)坩堝中,并按任何順序沉積。沉積速率與單個(gè)坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個(gè)坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭由驅(qū)動(dòng)手柄分度到位。因此,蒸發(fā)總是來(lái)自真空室中的相同的位置。非活性坩堝通過(guò)磁極片與加熱的坩堝隔開(kāi),從而消除了坩堝之間的污染。

兼容高真空

金屬和彈性體密封件,測(cè)量的基壓:2 x 10-9托。

可互換坩堝

主坩堝輪可以從源的頂部拆下,而無(wú)需拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。

所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上,單個(gè)或背對(duì)背。

規(guī)格

工作壓力低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇
光束電壓4,000 伏
束流0–750 mA 連續(xù)可變
最大功率3,000 瓦
冷卻水1.5 加侖/分鐘
最大烘烤溫度120°C (150°F)
坩堝體積2.24 cc x 4、6 或 8 個(gè)坩堝

安裝配置

每個(gè) e-Gun™ 都提供三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置:

  • e-Gun™ 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上,使用標(biāo)準(zhǔn) OFE 銅墊圈

  • e-Gun™ 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座,可通過(guò) 1 英寸直徑的孔安裝,并由壓縮 O 形圈密封

  • 單獨(dú)使用 e-Gun™,無(wú)需安裝法蘭

請(qǐng)?jiān)谙掠唵螘r(shí)安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。

通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀,請(qǐng)致電工廠了解更多信息。

型號(hào)坩堝
RCR0304-SD4
RCR0304-BD4
RCR0306-SD6
RCR0306-BD6
RCR0308-SD8
RCR0308-BD8

注意:SD 表示側(cè)驅(qū),BD 表示底驅(qū)



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