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Thermionics 旋轉(zhuǎn)電子槍 蒸發(fā)源 真空組件

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產(chǎn)品型號(hào)HCR系列

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所  在  地上海市

更新時(shí)間:2024-09-12 14:33:43瀏覽次數(shù):126次

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Thermionics 旋轉(zhuǎn)電子槍 蒸發(fā)源 真空組件
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Thermionics 旋轉(zhuǎn)電子槍 蒸發(fā)源 真空組件

HCR系列旋轉(zhuǎn)電子槍是一種全金屬密封的電子槍,有3到8個(gè)坩堝版本,最多可連續(xù)沉積8種以上的材料。標(biāo)準(zhǔn)安裝在外徑為12英寸的CF法蘭上,包括自動(dòng)分度器和所有機(jī)械和電氣連接。

HCR系列旋轉(zhuǎn)電子槍主要特征:
可提供3至8個(gè)坩堝
270°光束偏轉(zhuǎn)
多坩堝,旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)
可互換坩堝組件
長壽命發(fā)射器組件
易于更換燈絲
永磁梁定位
整體式掃掠線圈
提供底部或側(cè)面驅(qū)動(dòng)



HCR系列旋轉(zhuǎn)電子槍技術(shù)參數(shù):

FeatureSpecifications
最大功率10 kW
發(fā)射電壓-6 to -10 kV
發(fā)射電流0 to 1 A
燈絲700 W
電子束偏轉(zhuǎn)270°
光束光斑尺寸.25″ diameter, tight beam
蒸發(fā)率1 gram/min @ 10 kW
36,000 ?/min Al @ 10″ (250 mm) source-to-substrate distance
X and Y 掃描Longitudinal and lateral control up to 200 Hz when operated with Thermionics sweep controller
3 gpm, 20°C, 50 psi pressure differential
坩堝材質(zhì)OFE copper
烘烤溫度120°C (250°F)

HCR系列旋轉(zhuǎn)電子槍安裝配置
每個(gè)e-Gun 都有三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置:
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上,該法蘭使用標(biāo)準(zhǔn)OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座,通過直徑為1"的孔安裝,并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨(dú)使用,無安裝法蘭
請(qǐng)?jiān)谙聠螘r(shí)安裝配置;成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。

Thermionics 旋轉(zhuǎn)電子槍 蒸發(fā)源 真空組件

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