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產(chǎn)品參數(shù)：

1.腔體尺寸：石英玻璃，直徑150mm*高度130mm

2.供電規(guī)格：AC220V，200w

3.適用靶材：貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pd 常規(guī)金屬Cu、W、Ag 、Cr 等

4.樣品臺(tái)可調(diào)高度：20~50mm

5.樣品臺(tái)尺寸：直徑55mm

6.工作真空度：1~10Pa

7.氣體路數(shù)：單路

8.氣體流量：手動(dòng)調(diào)節(jié)

9.控制：觸屏控制

10.外形尺寸：260mm*410mm*343mm（寬*深*高）

11.重量：10KG

12.真空泵：VRD-8

離子濺射儀 產(chǎn)品簡介：

1、人性化設(shè)計(jì)，儀器操作簡單，一鍵鍍膜。

2、儀器小巧，不占空間，適用于實(shí)驗(yàn)室、科研院所等。

3、鍍膜均勻細(xì)密，適用于多種靶材。

4、樣品臺(tái)可以快速調(diào)節(jié)，方便取放樣品。

5、儀器性能可靠，設(shè)有多重安全保護(hù)機(jī)制。