詳細(xì)介紹
Photrix 外延片測(cè)溫儀詳細(xì)說(shuō)明
PhotriX 系列高精度紅外測(cè)溫儀具有業(yè)界優(yōu)異的信噪比,可測(cè)量更低的溫度,更小的目標(biāo),可采用更快的響應(yīng)時(shí)間 (1 ms).
當(dāng)選擇一款紅外測(cè)溫儀時(shí),其中一個(gè)重要的因素是要考慮用于測(cè)量的波長(zhǎng)。紅外測(cè)溫的物理特性決定了測(cè)量波長(zhǎng)越短,測(cè)量精度越高。沒(méi)有儀器可以違反這個(gè)原則.
利用短波和窄帶波長(zhǎng), Photrix系列測(cè)溫儀將紅外測(cè)溫的精度提升到了一個(gè)極限高度。相較波長(zhǎng)8-14μm的精度,0.9 μm( 900nm )測(cè)溫精度提升了一個(gè)數(shù)量級(jí)。不僅如此,Photrix系列的信噪比*,因而相對(duì)于同樣短波的其它產(chǎn)品,可以測(cè)量低溫至30℃的物體。
此外,Photrix還提供了環(huán)境溫度補(bǔ)償,以消除溫度漂移,進(jìn)而在長(zhǎng)周期循環(huán)工藝過(guò)程中保證了其*的穩(wěn)定性和復(fù)現(xiàn)性。
標(biāo)準(zhǔn)的PhotriX系統(tǒng)包括帶有防反射鍍膜透鏡的傳感器電子設(shè)備,通信接口模塊(CIM),RS-232接口電纜,通用電源以及TemperaSure™數(shù)據(jù)采集和圖形接口軟件。
固定鏡頭型配置有5種波長(zhǎng)可選,具有如下特點(diǎn):?
低溫測(cè)試能力 (詳見(jiàn)下表)
測(cè)溫下限75 °C ,波長(zhǎng) 700-1650 nm
測(cè)溫下限125 °C ,波長(zhǎng) 1550 nm
測(cè)溫下限270 °C ,波長(zhǎng) 900 nme
測(cè)溫下限280 °C ,波長(zhǎng) 880 nm
可測(cè)量小至0.5 mm的目標(biāo) (定義為 99% 的能量)
快速響應(yīng) (1 ms)
精度+/- 1.5 °C 或讀數(shù)的 0.15%
重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)
選配件包括模擬模塊 ( 4-20 mA 或 0-10V), 帶鏡頭吹掃的保護(hù)套, 8通道模塊。標(biāo)準(zhǔn)配置已包含所有必要的電纜,電源以及軟件和文檔。
典型應(yīng)用
低發(fā)射率金屬
鋁
CIGS太陽(yáng)能薄膜電沉積
非晶硅薄膜沉積
激光加熱工藝
CZ 晶體生長(zhǎng)
光纖拉絲
感應(yīng)加熱
Photrix 外延片測(cè)溫儀配置選項(xiàng)
溫度范圍 | ||||||
Celsius | Fahrenheit | |||||
P/N號(hào) | 響應(yīng) 波長(zhǎng) | 安裝 螺紋 | Min (°C) | Max (°C) | Min (°F) | Max (°F) |
ML-GAPX-XXX-M | 700-1650 nm | M36-15 | 75 | 1100 | 167 | 2012 |
ML-GAPX-XXX-E | 700-1650 nm | 1-3/8" -28 | 75 | 1100 | 167 | 2012 |
ML-GAPX-HXXX-M | 700-1650 nm | M36-15 | 130 | 2100 | 266 | 3812 |
ML-GAPX-HXXX-E | 700-1650 nm | 1-3/8" -28 | 130 | 2100 | 266 | 3812 |
ML-AAPX/088-XXX-M | 880 nm | M36-15 | 280 | 2150 | 536 | 3902 |
ML-AAPX/088-XXX-E | 880 nm | 1-3/8" -28 | 280 | 2150 | 536 | 3902 |
ML-AAPX/090-XXX-M | 900 nm | M36-15 | 270 | 2150 | 518 | 3902 |
ML-AAPX/090-XXX-E | 900 nm | 1-3/8" -28 | 270 | 2150 | 518 | 3902 |
ML-GAPX/155-XXX-M | 1550 nm | M36-15 | 125 | 2600 | 257 | 4712 |
ML-GAPX/155-XXX-E | 1550 nm | 1-3/8" -28 | 125 | 2600 | 257 | 4712 |
ML-AAPX/088-HXXX-M | 880 nm | M36-15 | 310 | 2600 | 590 | 4712 |
ML-AAPX/088-HXXX-E | 880 nm | 1-3/8" -28 | 310 | 2600 | 590 | 4712 |
ML-AAPX/090-HXXX-M | 900 nm | M36-15 | 300 | 2600 | 572 | 4712 |
ML-AAPX/090-HXXX-E | 900 nm | 1-3/8" -28 | 300 | 2600 | 572 | 4712 |
ML-GAPX/155-HXXX-M | 1550 nm | M36-15 | 180 | 2600 | 356 | 4712 |
ML-GAPX/155-HXXX-E | 1550 nm | 1-3/8" -28 | 180 | 2600 | 356 | 4712 |
響應(yīng)波長(zhǎng) | ||||
中心波長(zhǎng) | 880nm | 900nm | 1550nm | 700-1650nm |
FWHM | 60nm | 60nm | 50nm | N.A. |
Temperature Range* | ||||
Celsius (°C) | 280-2150 | 270-2150 | 125-2600 | 75-1100 130-2100 |
Fahrenheit (°F) | 536-3902 | 518-3902 | 257-4712 | 167-2012 266-3812 |
測(cè)量精度 | ± 1.5° C 或讀數(shù)的 0.15% | |||
重復(fù)精度 | 0.01 C, 取決于波長(zhǎng),速度和溫度. 詳見(jiàn) TN-828 . | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 短可調(diào)至 1ms | |||
漂移 | <0.15° C per year | |||
輸出 | RS-232 (標(biāo)準(zhǔn)), 支持 Modbus 協(xié)議, 模擬輸出 (選配) | |||
電子環(huán)境 | 10 – 60° C (50 – 140 ° F) | |||
重量 | 500 grams | |||
電源 | 110/220 VAC, 50-Hz and 60-Hz (also accepts 10-30 VDC) | |||
*其它溫度范圍選項(xiàng)可參照 TN-831 技術(shù)資料. 出廠已對(duì)溫度范圍進(jìn)行校準(zhǔn). |