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S3000A-橢圓偏光儀
  • S3000A-橢圓偏光儀

貨物所在地:廣東深圳市

地: 美國

更新時間:2024-11-11 21:00:07

瀏覽次數(shù):63

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RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀是一種高性能的橢圓偏光計,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。以下是其詳細(xì)規(guī)格參數(shù):
波長:該設(shè)備配備532nm的激光源。
樣品尺寸:適用于12英寸晶圓。
測量功能:
薄膜厚度、折射率、光學(xué)常數(shù)和材料屬性等。
可以進(jìn)行無損和原位測量,具有出色的重復(fù)性、準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性。

RUDOLPH S3000A 橢圓偏光儀

Rudolph S3000A 橢圓偏光儀概述

先進(jìn)的光譜橢圓儀

高性能,精確度高

多通道雙波長光譜橢圓儀

主要特點

波長范圍廣(118-8000nm)

材料范圍廣泛(有機和無機半導(dǎo)體、薄膜等)

可測量薄膜厚度和光學(xué)性能

重復(fù)性和可靠性

技術(shù)規(guī)格

自校準(zhǔn)光機、光纖激光二極管源和高分辨率彩色CCD檢測器

基于Windows操作系統(tǒng),先進(jìn)流程控制軟件

自動化測量薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)、應(yīng)力和折射率

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用透明度計量工具

晶圓測試和計量設(shè)備,適用于半導(dǎo)體和高級封裝生產(chǎn)線

技術(shù)優(yōu)勢

無損光學(xué)成像技術(shù)

X射線探測技術(shù),測量粒子/缺陷密度、尺寸和材料特性

產(chǎn)品信息

晶圓尺寸為12英寸

設(shè)計用于300mm fab范圍內(nèi)的應(yīng)用






RUDOLPH S3000A是一款高性能的橢圓偏光儀,廣泛應(yīng)用于薄膜和表面的無損測量。該設(shè)備具有以下主要特點:

  1. 高精度與高重復(fù)性:RUDOLPH S3000A能夠提供精確、可靠的測量結(jié)果,適用于科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用。

  2. 多通道雙波長設(shè)計:它是一種先進(jìn)的多通道、雙波長光譜橢圓偏光儀,可以同時對多達(dá)四個樣品進(jìn)行測量,確保了結(jié)果的可重復(fù)性和可靠性

  3. 寬波長范圍:該設(shè)備支持從118到8000納米的廣泛波長范圍,能夠測量有機和無機半導(dǎo)體、薄膜、光學(xué)層和基板等多種材料。

  4. 溫度控制與數(shù)據(jù)收集:配備溫度控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)收集功能,使得用戶可以方便地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)分析和數(shù)據(jù)分析。

  5. 自校準(zhǔn)光機與高分辨率檢測器:配備自校準(zhǔn)光機和高分辨率彩色CCD檢測器,確保了測量的準(zhǔn)確性和長期穩(wěn)定性。

  6. 用戶友好的軟件工具:基于Windows的操作系統(tǒng)和先進(jìn)的流程控制軟件,使操作更加簡便,并且便于定制和分析

  7. 晶片尺寸兼容性:可以測量最大150毫米的晶片,樣本厚度范圍為1毫米至4毫米,還可以通過選配模塊提升性能。

  8. 應(yīng)用領(lǐng)域:該設(shè)備不僅適用于薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)的測量,還能夠測量應(yīng)力和折射率等物理特性,適用于各種科學(xué)和工業(yè)應(yīng)用

總之,RUDOLPH S3000A是一款功能強大且用途廣泛的橢圓偏光儀,適合需要高精度和高重復(fù)性的科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。







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