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參考價(jià)	面議

材料樣品檢測

氣體溫度控制儀

半導(dǎo)體制冷臺(tái)

鼓泡罐

吉時(shí)利源表

探針臺(tái)

微型真空高低溫探針臺(tái)

微型高低溫真空探針臺(tái)

真空加熱腔

微型真空探針冷臺(tái)

微型真空探針熱臺(tái)

真空探針臺(tái)

溫度范圍	-196℃到350℃

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T，4探針手動(dòng)調(diào)節(jié)，純銀加熱臺(tái)，-196℃至350℃（溫控精確±0.5）

詳細(xì)介紹

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T探針臺(tái)用途：手動(dòng)探針臺(tái)又稱探針測試臺(tái)主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途探針臺(tái)系統(tǒng)組成：探針臺(tái)臺(tái)體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表（請注意無測試源表就構(gòu)成不了系統(tǒng)，探針臺(tái)只是提供一個(gè)測試平臺(tái)，一切數(shù)據(jù)的測量都需要依靠測試源表來完成）探針臺(tái)測試環(huán)境：可提供的測試環(huán)境有：常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場環(huán)境。

小型氣敏探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T參數(shù)

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺(tái)尺寸	26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測溫誤差	±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率	高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動(dòng)行程	120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動(dòng)行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）