目錄:鄭州科探儀器設備有限公司>>材料樣品檢測>>探針臺>> KT-Z160TZ真空探針臺
真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動，全自動從功能上來區(qū)分有：溫控探針臺，真空探 針臺(低溫探針臺)，RF探針臺，LCD平板探針臺，霍爾效應探針臺，表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異，即主要由x-y向工作臺，可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成
高低溫真空 探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學研究領域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產制造領域。
· 結構緊湊，適用于各種變溫測試
· -196℃~400℃（配液氮致冷模塊）
· 氣密腔室設計，可通保護氣氛
· 4探針，手動定位（可擴展為6個）
· 支持改動或定制
真空探針臺KT-Z160TZ參數(shù)
|
真空腔體 | |
|
腔體材質 |
304不銹鋼 |
|
上蓋開啟 |
鉸鏈側開 |
|
加熱臺材質 |
304不銹鋼 |
|
內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
|
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
|
加熱臺尺寸 |
φ60mm |
|
觀察窗熱臺間距 |
75mm |
|
加熱臺溫度 |
﹣196~400℃ |
|
加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
|
真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
|
允許正壓 |
≤0.1MPa |
|
真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
|
氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
|
電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
|
電學性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤500V |
|
探針數(shù)量 |
4探針 |
|
探針材質 |
鎢針 |
|
探針尖 |
10μm |
|
探針移動平臺 | |
|
X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
|
X軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
|
電子顯微鏡 | |
|
顯微鏡類別 |
物鏡 |
|
物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
|
工作間距 |
90mm |
|
相機 |
sony 高清 |
|
像素 |
1920※1080像素 |
|
圖像接口 |
VGA |
|
LED可調光源 |
有 |
|
顯示屏 |
8寸 |
|
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
5
化工儀器網(wǎng)