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非磁性霍爾效應光電真空探針臺 結構與特點
(1)真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜)
(2)探針控制:標配4個探針臂。調節(jié)范圍50mm*50mm*30mm,調節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
(3)顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物鏡時),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機械調焦和光學調焦
(4)變溫樣品臺:50mm直徑。變溫范圍:80K~400K??販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.02K
(5)可選配接入光纖,可將一根或幾根電學探針替換為光纖
(6)系統(tǒng)直流漏電低于1pA
3、含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀
4、設備照片(因配置不同,照片僅供參考)
非磁性霍爾效應光電真空探針臺