適用于任何高/低壓（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD 工藝的最新和*價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的中頻發(fā)生器

BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz，高壓|低壓交流等離子發(fā)生器

BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子發(fā)生器，最大輸出功率為 5、10 或 15 kW，專(zhuān)為 PECVD 或等離子清洗應(yīng)用中的等離子激發(fā)而設(shè)計(jì)。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達(dá) 10kW 的功率。

輸出為平衡式，可驅(qū)動(dòng)2個(gè)對(duì)稱(chēng)電極。典型應(yīng)用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個(gè)*的功能是內(nèi)置 2 個(gè)（標(biāo)準(zhǔn)）或 3 個(gè)（根據(jù)要求）變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。

用戶(hù)只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶(hù) PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus（根據(jù)要求）。

亮點(diǎn)和好處：

• 內(nèi)置輸出匹配變壓器，無(wú)需外接盒。

• 風(fēng)冷機(jī)組。沒(méi)有與潮濕或漏水相關(guān)的風(fēng)險(xiǎn)。

• 全功率，環(huán)境溫度高達(dá) 40°C。

• 模擬接口。

• 可根據(jù)要求提供 Profibus 接口。

• 前面板顯示屏使安裝和故障排除更加容易。

• 高效率 >90%。

• 結(jié)構(gòu)緊湊輕巧，僅 20 公斤，4UI。

CE 標(biāo)志 - 意大利制造

新一代價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的高效 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 黑盒射頻發(fā)生器

BDS HF 200 - 300 - 750 黑匣子系列

BDISCOM 推出新一代中低功率射頻發(fā)生器，旨在滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)室級(jí)和小型低壓工業(yè)等離子系統(tǒng)的需求。

• BDS.HF 200-300-750.BB 型，黑盒式，僅帶模擬 0-10 VDC 端口。

中低功率黑盒系列由一個(gè) 200、300 或 750 W @ 13,56 MHz 輸出功率的單元組成，黑盒配置僅具有模擬用戶(hù)端口，0-10 VDC A/D 接口。主 230 VAC 由與發(fā)電機(jī)一起提供的外部電源提供。

• BDS HF 黑匣子 (BB) 發(fā)生器的常見(jiàn)規(guī)格： BDS HF 系列是 E 類(lèi)電路，典型效率為 85-90%。

輸出功率通過(guò)作用在直流總線上的 PWM 電路進(jìn)行調(diào)制

CE 標(biāo)志 - 意大利制造

Plasma Matrix & Super Plasma Matrix

價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力的臺(tái)式射頻 13.56 MHz 等離子反應(yīng)器系統(tǒng)系列，適用于研發(fā)或小型工業(yè)試驗(yàn)生產(chǎn)中的大部分清潔/蝕刻工藝（從 2.5 升到 40 升 SS 304 真空室）

Plasma Matrix 和 Super Plasma Matrix 臺(tái)式等離子反應(yīng)器旨在滿(mǎn)足等離子清洗、蝕刻和表面活化的大部分研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用，其中初始機(jī)器投資必須保持在非常低的水平。

工具軟件的簡(jiǎn)單友好使用（通過(guò) LCD 觸摸屏顯示）以及 Matrix 系列 SS 真空室的優(yōu)化設(shè)計(jì)，使其處于當(dāng)今市場(chǎng)提供的。

Bdiscom Matrix 等離子反應(yīng)器系列包括根據(jù)不同研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用的要求保持等離子工藝穩(wěn)定和可重復(fù)所需的所有功能。

目前有兩個(gè)版本的 Plasma Matrix 可用：

- Plasma Matrix Plus  配備 2.5 升 SS 真空處理室、兩個(gè)進(jìn)氣口和手動(dòng)感應(yīng)手動(dòng)加工網(wǎng)絡(luò)，配備高達(dá) 200 瓦射頻 @ 13.56 MHz 發(fā)生器

-具有 40 升 SS 真空處理室、兩個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)全電容自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的超級(jí)等離子矩陣，帶有高達(dá) 300 瓦射頻 @ 13.56 MHz 發(fā)生器