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應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè)    
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深圳市普索進(jìn)出口貿(mào)易有限公司(普索貿(mào)易)是一家專(zhuān)業(yè)經(jīng)營(yíng)工控行業(yè)備件進(jìn)口的公司,公司依托德國(guó)分公司在歐盟區(qū)域常年的采購(gòu)經(jīng)驗(yàn),與歐盟境內(nèi)3000多個(gè)工控品牌,5000多家供應(yīng)商建立起長(zhǎng)久的合作,為客戶(hù)提供100%原裝正品的工業(yè)產(chǎn)品及零部件的同時(shí)提供優(yōu)質(zhì)的價(jià)格及服務(wù)。

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深圳市普索進(jìn)出口貿(mào)易有限公司 李沛 133 -1650 -1405(同V)

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HSB Beta-80-SOS-M-2550-854-1200-2SA-1-VL 德國(guó) 8538900000 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB4ET控制面板
HSB Beta-80-SOS-M-2550-2316-2720-4SA-1-VL 德國(guó) 8538900001 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB5ET控制面板
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HSB Beta-80-SOS-M-2550-854-1200-2SA-1-VL 德國(guó) 8538900003 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB7ET控制面板
HSB BETA-80-SOS-M-2550-2296-2720-4SA-1 德國(guó) 8538900004 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB8ET控制面板
HSB BETA-80-SOS-M-2550-834-1200-2SA-1 德國(guó) 8538900005 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB9ET控制面板
HSB BETA-80-SOS-M-2550-2296-2720-4SA-1 德國(guó) 8538900006 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB10ET控制面板
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HSB BETA-80-SOS-M-2550-1494-1860-2SA-1 德國(guó) 8538900009 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB13ET控制面板
HSB Beta 40-SSS-M-1205-830-1070-2SA-4BL1-6NS7-1 德國(guó) 8538900010 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB14ET控制面板
HSB Beta-80-SOS-M-2550-1850-2465-4SA-1 德國(guó) 8538900011 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB15ET控制面板
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HSB 100-ZRS-40AT10-200-2500-3000-AK-AZ2-2E010-8BL-0 德國(guó) 8538900013 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB17ET控制面板
HSB 100-ZRS-40AT10-200-2500-3000-AK-AZ2-2E010-8BL2-0 德國(guó) 8538900014 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB18ET控制面板
HSB BETA80-S0S-M-2550-2100-2720-4SA-1 德國(guó) 8538900015 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB19ET控制面板
HSB Beta 80-sos-M2550-2100-2720 德國(guó) 8538900016 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB20ET控制面板
HSB Beta 80-SOS-M-2550-2100-2720-4SA-1 德國(guó) 8538900017 旋鈕 用途:適用于TGA牌THSB21ET控制面板
SCHMERSAL 0.398079744 SRB402EM Germany 繼電器
microsonic 0.077388935 HPS+35/DIU/TC/E/G1 Germany 9026100000 液位傳感器 功能:檢測(cè)液位,檢測(cè)對(duì)象:液體
ACAM 0.425542488 PT2G-SM5.3 德國(guó) 速度傳感器
END-Armaturen 0.32972784 DG2D3121015 德國(guó) 8481804090 截止閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
walther 0.628195498 SG-006-0-S1018-19-2 Germany 7307990000 快速接頭 用途:用于管道的快速連接,材質(zhì):碳鋼,種類(lèi):快速接頭,加工方法:鍛造
Spieth 0.00224295 DSL 75.105 德國(guó) 8483600090 聯(lián)軸器 用途:工業(yè)機(jī)械傳動(dòng)用
CAB 0.287754833 CAB PS6 5942353 Germany 配件
HANSA-TMP 0.589643625 TMF 600 A E 28 ML 6 德國(guó) 8412291000 液壓馬達(dá) 原理:將液壓能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械能,用途:工程機(jī)械用
SICK 0.644136385 UM30-213118 6036923 德國(guó) 9031809090 超聲波傳感器 用途:工業(yè)流水線(xiàn)上用,功能:檢測(cè)有無(wú)產(chǎn)品靠近,原理:通過(guò)發(fā)射超聲波信號(hào)并接收反射信號(hào)來(lái)檢測(cè)有無(wú)產(chǎn)品靠近,無(wú)測(cè)量結(jié)果顯示
HARRIS 0.406464742 88-3FGR 德國(guó) 8481300000 止回閥 用途:管道用,功能:管道止回用,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
calorplast 0.598750724 A4-2236-0 德國(guó) 8421299090 過(guò)濾器 用途:用于液壓系統(tǒng)過(guò)濾液壓油,原理:濾網(wǎng)攔截吸附油中的固體
elero 0.509344432 ECONOM 0 759726401 德國(guó) 8501510090 電機(jī) 工業(yè)機(jī)械用,三相交流電機(jī),功率250W
luedecke 0.867534626 Esh 13t Germany 7412209000 銅接頭 用途:用于管子之間連通,材質(zhì):黃銅合金,種類(lèi):接頭,成分:59%銅41%鋅
Parker 0.958394002 R10X1.571 波蘭 7306301900 不銹鋼管 規(guī)格:外徑10MM,壁厚1.5MM,用途:氣體輸送機(jī)用,材質(zhì):不銹鋼,種類(lèi):焊接管,加工方法:埋弧焊,截面形狀:圓形,單位為米
HBM 0.699177451 VK20A 1-VK20A 德國(guó) 8504401400 電源 用途:傳感器供電用,直流穩(wěn)壓電源,功率24W,精度1%
ALBA 0.806061767 08/115 德國(guó) 汽缸
ODU 0.359797227 309.010.000.642.000 德國(guó) 8538900000 外殼 用途:適用于ODU牌IDC連接器
burkert 0.331176011 00150311 Germany 8481804090 開(kāi)關(guān)閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
ECOM 0.270130448 Flash 10 DAD 400 EX UV Czech Republic
isoloc 0.616166079 NTS120-300 Germany 支撐腳
Steuber 0.692577776 RB-1242.5 德國(guó) 閥門(mén)
MADER 0.144641378 SEW-KH3-G1/4i-B1 226968 德國(guó) 8481804090 開(kāi)關(guān)閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
BST 0.208769277 DeviceNet Modul zum Einbau in ein ekrPro Com60 Germany 9032899090 模塊 用途:卷材輸送機(jī)用,原理:通過(guò)傳感器檢測(cè)卷材的輸送位置并實(shí)時(shí)調(diào)整,保證卷材輸送不跑偏,功能:控制卷材輸送不跑偏
anhaenger 0.172023677 P549 德國(guó) 信號(hào)燈
SIKO 0.327779837 IF09P/1-0001 Germany 8517623790 網(wǎng)關(guān) 用途:自動(dòng)控制設(shè)備通訊用,通訊方式,有線(xiàn),以太網(wǎng)絡(luò)
Schlegel 0.911310269 AT+QXJT+T25FGN Germany 開(kāi)關(guān)
VIPA 0.478071241 222-1bf30 Germany 接口模塊
Crydom 0.517967804 GNR25DCZ Mexico 繼電器
Luedecke 0.993612091 ESH 13 T Germany
Würth 0.896898532 0714107901 Germany 7320209000 彈簧 用途:鉗子用,材質(zhì):鋼鐵,種類(lèi):螺旋彈簧
TR 0.178221374 LA_41*705 SSI 305-00346 德國(guó) 磁性傳感器
Legrand 0.812227779 HE 01690 Germany 8538900000 固定座 用途:適用于legrand牌Axolute控制系統(tǒng),型號(hào)報(bào)HE 01690
schmidt+sohn 0.09049952 DA CAPO 德國(guó) 真空輸送機(jī)
Bürkert 0.331618919 0255 00054811 德國(guó) 8481804090 開(kāi)關(guān)閥 用途:管道用,功能:控制管道流體的通斷,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
Bürkert 0.079974529 357614 357614 德國(guó) 8481802190 換向閥 用途:管道用,電磁式,功能:換向,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位三通
GEFRAN 0.614164533 MN1-6-M-B35D-4-5-E Germany 9026209090 壓力傳感器 功能:檢測(cè)壓力,檢測(cè)對(duì)象:液體和氣體
steuma 0.045839554 MO*000/SX.IS 荷蘭 9027100090 氣體檢測(cè)儀 原理:通過(guò)傳感器上的電解質(zhì)與氧氣發(fā)生反應(yīng),根據(jù)電解質(zhì)變化來(lái)測(cè)量氧氣含量,功能:檢測(cè)氧氣含量,檢測(cè)對(duì)象:氣體,未配有試劑、試紙,不帶打印機(jī)
MEGATRON 0.200104555 RC13 75 G 1 W20% L0,1% 110960 德國(guó) 9031809090 位移傳感器 用途:數(shù)控機(jī)床用,功能:檢測(cè)機(jī)械位移量;原理:機(jī)械的位移引起電位器移動(dòng)從而導(dǎo)致電阻變化,通過(guò)檢測(cè)電阻變化測(cè)量位移量;無(wú)測(cè)試結(jié)果顯示
katko 0.654621311 KER 3160 Y/R Germany 控制器
WAGO 0.806719142 750-306 Germany 8473309000 輸入輸出模塊 用途:適用于WAGO牌DSC分散控制系統(tǒng)
Witt 0.896146219 037-064 德國(guó) 8481300000 止回閥 用途:管道用,功能:管道止回用,閥芯材質(zhì):鋼鐵,兩位兩通
WALTHER FLENDER 0.658202858 WF-TENSION METER NANO 德國(guó) 9024800000 張力計(jì) 功能:測(cè)試張力,試驗(yàn)材料類(lèi)型:橡膠皮帶,有測(cè)量結(jié)果顯示,數(shù)值顯示張力值
WERUCON 0.628458518 SLD-R-5,2-H70-3,0-K Germany 8424909000 噴嘴 用途:適用于WERUCON牌SLD噴射器
Schneider 0.807426633 GVAE11 Germany 連接器
btsr 0.256745748 TS55/D1000E/IP 德國(guó) 9024800000 張力傳感器 功能:測(cè)試張力,試驗(yàn)材料類(lèi)型:紡織紗線(xiàn),無(wú)測(cè)量結(jié)果顯示
peiker 0.728380493 2115-133-002-05 101454 德國(guó) 8518100090 話(huà)筒頭 工廠(chǎng)用
walther 0.113941429 MD-012-2-L1522-19-1 52114 德國(guó) 7307990000 接頭 用途:用于管道的連接,材質(zhì):碳鋼,種類(lèi):接頭,加工方法:鍛造
AXELENT 0.64670373 D3M1-220 德國(guó) 7308900000 欄桿柱 用途:欄桿支撐用,材質(zhì):鋼鐵,種類(lèi):欄桿配件
KIRA 0.861315172 KE-EX 6836/24-00-0 Germany

Blickle 0.700547818 HRP-POA 50G 德國(guó)


磁控濺射


磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),而上世紀(jì) 70 年代發(fā)展起來(lái)的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。


磁控濺射定義


在二極濺射中增加一個(gè)平行于靶表面的封閉磁場(chǎng),借助于靶表面上形成的正交電磁場(chǎng),把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域來(lái)增強(qiáng)電離效率,增加離子密度和能量,從而實(shí)現(xiàn)高速率濺射的過(guò)程。









磁控濺射原理


磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過(guò)程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場(chǎng)和磁場(chǎng)作用,產(chǎn)生E(電場(chǎng))×B(磁場(chǎng))所指的方向漂移,簡(jiǎn)稱(chēng)E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似于一條擺線(xiàn)。若為環(huán)形磁場(chǎng),則電子就以近似擺線(xiàn)形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長(zhǎng),而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來(lái)轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。

隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場(chǎng)E的作用下最終沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過(guò)程,和靶原子碰撞,把部分動(dòng)量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級(jí)聯(lián)過(guò)程。在這種級(jí)聯(lián)過(guò)程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量,離開(kāi)靶被濺射出來(lái)。







磁控濺射種類(lèi)


磁控濺射包括很多種類(lèi)。各有不同工作原理和應(yīng)用對(duì)象。但有一共同點(diǎn):利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用,使電子在靶表面附近成螺旋狀運(yùn)行,從而增大電子撞擊氬氣產(chǎn)生離子的概率。所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向靶面從而濺射出靶材。


靶源分平衡和非平衡式,平衡式靶源鍍膜均勻,非平衡式靶源鍍膜膜層和基體結(jié)合力強(qiáng)。平衡靶源多用于半導(dǎo)體光學(xué)膜,非平衡多用于磨損裝飾膜。磁控陰極按照磁場(chǎng)位形分布不同,大致可分為平衡態(tài)和非平衡磁控陰極。

平衡態(tài)磁控陰極內(nèi)外磁鋼的磁通量大致相等,兩極磁力線(xiàn)閉合于靶面,很好地將電子/等離子體約束在靶面附近,增加碰撞幾率,提高了離化效率,因而在較低的工作氣壓和電壓下就能起輝并維持輝光放電,靶材利用率相對(duì)較高,但由于電子沿磁力線(xiàn)運(yùn)動(dòng)主要閉合于靶面,基片區(qū)域所受離子轟擊較小.非平衡磁控濺射技術(shù)概念,即讓磁控陰極外磁極磁通大于內(nèi)磁極,兩極磁力線(xiàn)在靶面不*閉合,部分磁力線(xiàn)可沿靶的邊緣延伸到基片區(qū)域,從而部分電子可以沿著磁力線(xiàn)擴(kuò)展到基片,增加基片區(qū)域的等離子體密度和氣體電離率.不管平衡非平衡,若磁鐵靜止,其磁場(chǎng)特性決定一般靶材利用率小于30%。為增大靶材利用率,可采用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)。但旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)需要旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),同時(shí)濺射速率要減小。

旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)多用于大型或貴重靶。如半導(dǎo)體膜濺射。對(duì)于小型設(shè)備和一般工業(yè)設(shè)備,多用磁場(chǎng)靜止靶源。用磁控靶源濺射金屬和合金很容易,點(diǎn)火和濺射很方便。這是因?yàn)榘校帢O),等離子體,和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源,回路中加入很強(qiáng)的電容。這樣在絕緣回路中靶材成了一個(gè)電容。但高頻磁控濺射電源昂貴,濺射速率很小,同時(shí)接地技術(shù)很復(fù)雜,因而難大規(guī)模采用。為解決此問(wèn)題,發(fā)明了磁控反應(yīng)濺射。就是用金屬靶,加入氬氣和反應(yīng)氣體如氮?dú)饣蜓鯕狻.?dāng)金屬靶材撞向零件時(shí)由于能量轉(zhuǎn)化,與反應(yīng)氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應(yīng)濺射絕緣體看似容易,而實(shí)際操作困難。

主要問(wèn)題是反應(yīng)不光發(fā)生在零件表面,也發(fā)生在陽(yáng)極,真空腔體表面,以及靶源表面。從而引起滅火,靶源和工件表面起弧等。德國(guó)萊寶發(fā)明的孿生靶源技術(shù),很好的解決了這個(gè)問(wèn)題。其原理是一對(duì)靶源互相為陰陽(yáng)極,從而消除陽(yáng)極表面氧化或氮化。冷卻是一切源(磁控,多弧,離子)所必需,因?yàn)槟芰亢艽笠徊糠洲D(zhuǎn)為熱量,若無(wú)冷卻或冷卻不足,這種熱量將使靶源溫度達(dá)一千度以上從而溶化整個(gè)靶源。




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