• 可測量直徑小至ø5μm。

• 超高測量精度，在全測量范圍(5μm-2mm)，內(nèi)直線度達(dá)±0.3μm。

• 超高重復(fù)精度達(dá)±0.03μm。
 

技術(shù)參數(shù)
 

測量范圍: 0.005 - 2mm

分辨率: 0.00001 - 0.01mm 可選(.000001"- .0005") ( ): 英制／公制型

20ºC 時的直線度*:±0.3μm

重復(fù)精度 (±2σ): ±0.03μm

定位誤差**: ±0.4μm

測量區(qū)域: 1x2mm

激光波長: 650nm, 可見光

掃描速度: 3200 scans/s

激光掃描速度: 76m/s

激光適用標(biāo)準(zhǔn): IEC, FDA (544-532), JIS (544-531)

* 在測量區(qū)域中心

** 在測量區(qū)域中由于工件定位的變化造成可能的測量錯誤

用于 LSM-500S 選件

02AGD110: 校正規(guī)套裝 (ø0.1mm, ø2.0mm)

02AGD200: 電線導(dǎo)向滑輪

02AGD220: 空氣罩

957608: 空氣罩蓋過濾器

02AGN780A: 延長信號電纜 5m

02AGN780B: 延長信號電纜 10m

尺寸

02AGN780C: 延長信號電纜 15m

日本三豐激光掃描測量儀LSM-500S

日本三豐激光掃描測量儀LSM-500S

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