北斗中頻發(fā)生器BDS-MF Generator BDiscom
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北斗中頻發(fā)生器BDS-MF Generator BDiscom
BDS-MF 5 - 10 - 15 kW @ 40kHz,高|低電壓交流等離子體發(fā)生器
BDS-MF 是一款 40 kHz 等離子體發(fā)生器,最大功率為 5、10 或 15 kW,專為 PECVD 或等離子體清潔應(yīng)用中的等離子體激發(fā)而設(shè)計。該裝置能夠在 7000V RMS 輸出下提供高達 10kW 的功率。
輸出為平衡型,可驅(qū)動2個對稱電極。典型應(yīng)用是大型工藝室的 PE-CVD 工藝。一個*的功能是內(nèi)置 2 個(標準)或 3 個(根據(jù)要求)變壓器抽頭的高壓匹配變壓器可用作阻抗匹配。
用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。與用戶 PLC 的接口可以是模擬或數(shù)字 RS232 或 Profibus(根據(jù)要求)。
亮點和好處:
內(nèi)置輸出匹配變壓器,無需外接盒。
風冷機組。沒有與潮濕或漏水相關(guān)的風險。
全功率,環(huán)境溫度高達 40C°。
模擬接口。
可根據(jù)要求提供 Profibus 接口。
前面板顯示屏使安裝和故障排除更容易。
高效率>90%。
結(jié)構(gòu)緊湊輕便,僅重 20kg,4UI。
直流等離子發(fā)生器
我們處理來自 TRUMPF Hüttinger 的直流發(fā)電機和直流脈沖等離子體勵磁發(fā)電機。在直流等離子體激發(fā)方面,直流發(fā)電機是經(jīng)典之作。如今,直流發(fā)生器作為低成本進入等離子體激發(fā)技術(shù)的一個例子,被用于許多應(yīng)用中。直流脈沖等離子體激勵非常適用于多種反應(yīng)過程。與簡單的直流發(fā)電機相比,脈沖直流電能夠處理半導(dǎo)電材料和非導(dǎo)電材料,例如氧化物。
特征
無缺陷表面和高鍍膜速率——即使在非??量痰闹绷鳛R射工藝中也是如此。
集成水冷或風冷變體
緊湊的設(shè)計
應(yīng)用
使用直流磁控濺射的功能涂層可提高表面硬度和靜摩擦力
涂層表面具有更好的熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性
用于各種材料的紙薄金屬層涂層的金屬化工藝,以獲得光學或電學性能
光伏電池、觸摸屏等中的導(dǎo)電材料 (TCO) 涂層。
建筑玻璃濺射鍍膜