Physik Instrumente高精度位移臺

  Physik Instrumente位移臺
納米定位壓電彎曲平臺

微型舞臺

線性平臺

線性執(zhí)行器

旋轉(zhuǎn)臺

XY平臺

PI的多軸壓電撓性位移臺允許在多達(dá)6個軸上以亞納米精度進(jìn)行定位和掃描，包括，傾斜和偏航運動。版本范圍從的立方體設(shè)計到大孔徑和薄型。

XYZ掃描儀是定位技術(shù)的工具。應(yīng)用包括樣品調(diào)整，技術(shù)，光學(xué)計量，光纖定位和光子學(xué)以及原子力顯微鏡。

所有壓電納米定位系統(tǒng)均已在工廠校準(zhǔn)，并隨測量記錄一起提供。

P-733.3 XYZ壓電納米定位器

應(yīng)用領(lǐng)域
·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩膜/晶圓定位

·         表面測量技術(shù)

·         納米壓印

·         顯微操作

·         圖像處理/穩(wěn)定

·         納米定位具有很高的平面度和運動平直度

電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進(jìn)行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩(wěn)定性以及kHz范圍內(nèi)的帶寬。

自動配置和快速的組件更換
機(jī)械和控制器可以根據(jù)需要進(jìn)行組合并快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)都存儲在機(jī)械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能都會使用此數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜的真空應(yīng)用
壓電系統(tǒng)中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的除氣率。

PICMA®壓電執(zhí)行器，使用壽命長
獲得的PICMA®壓電執(zhí)行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護(hù)它們免受潮濕和泄漏電流增加引起的故障的影響。PICMA®執(zhí)行器的使用壽命是傳統(tǒng)聚合物絕緣執(zhí)行器的十倍之多。事實證明，沒有單一故障的1000億次循環(huán)。

零游隙撓性導(dǎo)軌，導(dǎo)向精度高
撓性導(dǎo)板無維護(hù)，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負(fù)載能力，并且擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內(nèi)工作。

平行位置測量，在納米范圍內(nèi)具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為參考?？梢詫崟r（取決于帶寬）主動補(bǔ)償（主動引導(dǎo)）軸之間的不良串?dāng)_。即使在動態(tài)操作中，也可以在納米范圍內(nèi)實現(xiàn)高跟蹤精度。

P-733.3CD

P-733.3CL       

P-733.3DD

應(yīng)用領(lǐng)域：

     六腳架支持工業(yè)機(jī)器人

     科學(xué)儀器

       半導(dǎo)體技術(shù)

        顯微鏡檢查

        硅光子學(xué)

       醫(yī)療技術(shù)

    材料研究

        機(jī)械工業(yè)

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