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激光退火設備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-10-22 16:53:27瀏覽次數(shù):45次

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v應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火

v 應用范圍:對重摻雜碳化硅(SiC)表面沉積的過渡金屬進行退火,形成良好的歐姆接觸

v 加工尺寸:4inch、6inch

v 加工速度:1000mm/s

v 加工精度:±1μm

v 平臺參數(shù):行程300mm×300mm

v 重復定位精度:±0.001mm

v 激光器參數(shù):紫外

v 稼動率:98%以上

v 重大故障間隙時間:1000H

v 良率:≥99.5%


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