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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 超聲波 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 1萬-3萬 | 介質(zhì)分類 | 液體 |
| 應用領域 | 環(huán)保,食品,農(nóng)業(yè),石油,制藥 |
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
日本東京計裝超聲波流量計
UCUF-M系列液體用超聲波流量計是專為超純水和各種藥液等小流量測量而設計的流量計，由UCUF-M型檢測器和SFC型變換器構成。 UCUF型檢測器的接液部全部由面向半導體產(chǎn)業(yè)的PFA構成，沒有運行部，也沒有容易產(chǎn)生積液的o型圈等機械密封部。 因為是理想的潔凈構造，半導體裝置等要求潔凈度的工藝的流量計。
SFC型變換器明顯減輕了對半導體工藝、藥液工藝等問題的流體中氣泡的影響。 為了適應各種藥液，配備了消除流體運動粘度影響的補償功能。 DIN導軌安裝型節(jié)省空間。 可通過RS485通信功能集中管理進程
特長
EMC標準: EN61326-1
支持RoHS
統(tǒng)一為連接氣管間距80 mm
運動粘度40 mm2多可測量/s的高粘度流體
精度在指示值的±1%以內(nèi)(流速1 m/s以上時)
寬范圍性能(代表值100 : 1 )
理想潔凈結構的檢測器
耐腐蝕，安裝方便
主要用途
半導體制造工藝純水超純水的流量測定
各種藥液注入工藝的流量測定
高腐蝕性液體的流量測量
CMP漿料流量測量
其他小~中口徑工藝液體流量測量
清洗裝置、CMP裝置的流量測量控制
日本東京計裝超聲波流量計
主要規(guī)格
檢測器規(guī)格
| 測量對象 | 全部液體(不含氣泡的液體和PFA不得透過或侵蝕) |
|---|---|
| 標稱口徑 | 2.5、4 (連接1/4 )、4 (連接3/8 )、6、10、15、20mm |
| 流量范圍 | 大0 ~ 80 L/min 小0 ~ 0.01 L/min |
| 測量精度 | 指示值的±1.0% (流速1m/s以上) 大18.8至80l/min 小0.025 ~ 0.1L/min |
| 關于流速低于1m/s的精度，請參照樣本PDF。 大0~ 18.8L/min 小0~ 0.025L/min | |
| 流體溫度 | 10 ~ 90 ℃ |
| 流體壓力 | 0 ~ 0.5 MPa |
| 音速范圍 | 1000 ~ 2200 m/S |
| 流體運動粘度 | 0.8 ~ 40 mm2/s |
| 接液部材質(zhì) | PFA |
| 進程連接 | PFA氣管末端 |
| 電纜 | 附帶2根同軸電纜，電纜長度5 m (長可支持30 m的延長電纜) |
| 連接器型 | 中小型企業(yè)、BNC |
| 結構 | IP65 |
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