您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
整機規(guī)格：1820mm（W）×1100mm（D）×1860mm（H）
電極規(guī)格：16層垂直式式電極板（850mm×550mm）
電源系統(tǒng)：10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
技術(shù)參數(shù)
1、機臺整機規(guī)格
2120(W)×1800(D)×2000H) mm
2、真空室規(guī)格
進口合金鋁1140(W)×1500（D)×1130(H) mm
3、電極板規(guī)格
進口美鋁950H×1230D mm
4、真空電極結(jié)構(gòu)
垂直電極板16層，可處理15層工件
5、真空泵系統(tǒng)
Hanbell干式真空機組
6、真空測定系統(tǒng)
高精密薄膜硅真空計
7、真空供氣系統(tǒng)
Ф6全不銹鋼管+不銹鋼鎖套管路
8、真空排氣系統(tǒng)
全不銹鋼管路+波紋管
9、破真空系統(tǒng)
倒計時自動開合啟動
10、PLC自動控制系統(tǒng)
德國西門子200SMART-PLC及擴展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換、溫度控制）
11、人機工控系統(tǒng)
MCGS觸屏工控電腦
12、變頻控制系統(tǒng)
德國SIEMENS，PID閉環(huán)控制，真空度可維持
13、機臺冷卻系統(tǒng)
SKYTECK冰水機水冷，采用內(nèi)部獨立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng)
14、溫度控制系統(tǒng)
德國西門子200SMART溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，作業(yè)過程溫度可控
15、冰水機
國產(chǎn)品牌5.0P
16、輸入氣壓監(jiān)測系統(tǒng)
5路 日本SMC自動報警氣壓表（帶過濾裝置）
17、氣體控制系統(tǒng)
5路 日本SMC電磁閥門
18、氣體計量系統(tǒng)
SevenStar- MFC氣體質(zhì)量流量計精確控制流量
19、等離子發(fā)生器
額定功率：0-20KW,全自動匹配
20、其他組件
國內(nèi)外元器件
機臺*之條件
1、壓縮空氣要求
0.6～0.8MPa
2、循環(huán)冷卻水用量
3～7 SLM
3、抽風(fēng)系統(tǒng)
≥2立方/分鐘，*尾氣處理管道即可
技術(shù)指標(biāo)
1、機臺總重
約2500KG
2、額定功率
額定功率45KW
3、機臺供電
三相五線式 AC 380V 50/60Hz
4、腔體容積
1140(W)×1500（D)×1130(H) mm
5、電極板數(shù)量
垂直極板16層
6、處理層數(shù)及托架
15層
7、單層處理大面積
950(H)×1230(D )mm
8、單次處理總面積
約7M2
9、單次處理時間
10-60分鐘不等（根據(jù)產(chǎn)品特征，時間設(shè)定不同）
10、工作真空度
0.15～0.3Torr （可根據(jù)要求設(shè)定，可恒定真空度）
11、泵可抽極限壓力
4.0X10-1Torr
12、抽真空時間
≤180秒
13、破真空時間
≤60秒
14、等離子發(fā)生器功率
額定功率20KW；0-20KW自動設(shè)定調(diào)節(jié)，全自動匹配
15、等離子發(fā)生器頻率
40KHz±100Hz
16、供氣方式
高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa
17、流量計調(diào)節(jié)范圍
0-1000毫升/分鐘，0-3000毫升/分鐘；全自動調(diào)節(jié)
18、溫度控制調(diào)節(jié)范圍
5匹速冷，30-85℃可調(diào)