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機臺型號：PMT-100（實驗用機）
整機規(guī)格：600mm（W）×500mm（D）×400mm（H）
真空室規(guī)格：200（W）×200（H）×200（D）mm
電極規(guī)格：190 ×150×2層
電源系統(tǒng)：1KW等離子體發(fā)生源（可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
特 點：高精度，快響應，良
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
機臺名稱:等離子體表面處理系統(tǒng)
機臺型號:PMT100A
機臺用途:Ar2或O2或干燥Air等氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，可用于塑膠工件，金屬基工件，陶瓷、玻璃等工件表面改性，表面清潔等工藝
一、技術(shù)參數(shù)
1、機臺整機規(guī)格
600(W)×450(H)×550(D)mm
2、真空室規(guī)格
進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm
3、電極板規(guī)格
鋁電極 150(L)×120(W)mm
4、真空電極結(jié)構(gòu)
水平電極板 2層
5、真空泵系統(tǒng)
雙極機械旋片真空泵
6、PLC自動控制系統(tǒng)硬件
工控可編程控制器及擴展模塊(D/A轉(zhuǎn)換、A/D轉(zhuǎn)換）德國西門子
7、人機工控系統(tǒng)
觸摸屏式全中文界面MCGS
8、PLC及人機工程軟件
奧坤鑫科技自主研發(fā)
9、真空測定系統(tǒng)
皮拉尼電阻式真空計，日本ULVAC
10、真空供氣系統(tǒng)
Ф6品牌軟管
11、真空排氣系統(tǒng)
全不銹鋼管路+波紋管
12、破真空系統(tǒng)
電磁閥式/氣動閥，日本CKD
13、氣體控制系統(tǒng)
電磁閥控制
14、氣體計量系統(tǒng)
一路浮子可調(diào)流量計
15、等離子發(fā)生器
等離子發(fā)生器 13.56MHz，OKSUN
16、其他組件
國內(nèi)外元器件
二、技術(shù)指標
1、機臺總重
約40kg
2、額定功率
額定功率 1KW
3、機臺供電
AC-220V
4、腔體容積
進口鋁 200(W)×200(H)×250(D)mm
5、電極板數(shù)量
水平電極2層，極板間距：60mm
6、單層處理大面積
鋁電極 150(L)×150(W)mm
7、單次處理時間
工藝不同，處理時間不同,表面活化改性2-10分鐘內(nèi)
8、工作真空度
20-60Pa
9、真空泵極限壓力
4.0X10-2Pa
10、抽真空時間
≤60秒
11、破真空時間
≤30秒
12、等離子發(fā)生器功率
等離子發(fā)生器0-500W可調(diào)
13、供氣方式
電磁閥式
14、流量計調(diào)節(jié)范圍
0.6-6L/m（升/分鐘）
15、操作方式
人工取放工件，一鍵啟動自動控制