Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺

壓電慣性驅動器

壓電陶瓷慣性驅動器為空間節(jié)約型且價格實惠的基于壓電陶瓷的驅動器，其保持力相對較大，行程幾乎是無限的。慣性驅動原理是基于由特殊驅動器電控提供的修正鋸齒波電壓控制的單個壓電促動器。促動器緩慢膨脹，移動轉子。由于其慣性，轉子無法跟上促動器隨后的快速收縮，停留在其位置上。工作頻率高達20千赫茲時，驅動直接作用在動輪上，實現(xiàn)大為10毫米/秒的速度。

真空和無磁性環(huán)境

所有Q-Motion®線性平臺都適用于高真空中的操作，真空可達10^-6 百帕。此外，適用于10^-9 百帕的超高真空變型也可供貨?？砂葱杼峁o磁性版本。

直接測量原理

可提供帶非接觸式光學線性編碼器的版本。分辨率為4 納米或1 納米，取決于不同版本。帶編碼器的版本具有參考點開關。

應用領域

微裝配, 光子, 光學對準, 顯微鏡, 高能束線設備, 半導體技術, 測試。

Physik Instrumente Q-Motion小型線性平臺

寬僅21毫米、高僅10毫米
采用集成式增量編碼器實現(xiàn)直接位置測量
編碼器分辨率高達1納米
小位移高達2納米
帶接裝板或支架（作為選配件提供）的多軸系統(tǒng)裝置
適用于高達10-6百帕的真空環(huán)境，還可提供用于真空達10-9百帕的版本