2130X000X0C高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)方法ME2-6-M-B02C-1-4-D

ME2-6-M-B02C-1-4-D光譜共焦位移傳感器的基本原理,分析了軸向色散與玻璃材料及波長(zhǎng)之間的的關(guān)系,使用ZEMAX光學(xué)設(shè)計(jì)仿真軟件的多重結(jié)構(gòu)功能,設(shè)置評(píng)價(jià)函數(shù)操作數(shù)進(jìn)行優(yōu)化得到了一個(gè)鏡頭組。鏡頭組采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu),在486～656nm波長(zhǎng)范圍內(nèi),色散范圍約為1mm,各個(gè)單色波長(zhǎng)在其焦點(diǎn)位置產(chǎn)生大的RMS半徑為1.552μm且達(dá)到衍射極限,同時(shí)波長(zhǎng)色散離焦量與波長(zhǎng)之間通過(guò)線性擬合所得判定系數(shù)R~2為0.9976,理論分辨率為5nm,鏡頭在產(chǎn)生大的色散范圍同時(shí)也擁有著良好的線性性。 設(shè)計(jì)了一種新型加工誤差采集與統(tǒng)計(jì)分析平臺(tái)。使用電渦流位移傳感器,輔以MATLAB軟件,利用數(shù)據(jù)采集工具箱進(jìn)行工件尺寸的自動(dòng)測(cè)量,借助強(qiáng)大的數(shù)值計(jì)算能力和的圖形用戶界面功能,完成加工誤差統(tǒng)計(jì)分析中大量數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)、分析、計(jì)算、復(fù)雜圖形的繪制等工作數(shù)據(jù)處理,實(shí)現(xiàn)測(cè)量數(shù)據(jù)以及結(jié)果的可視化。設(shè)計(jì)檢測(cè)平臺(tái)的機(jī)械結(jié)構(gòu),通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證平臺(tái)可靠性

2130X000X0C高精度電容式位移傳感器校準(zhǔn)方法ME2-6-M-B02C-1-4-D

ME2-6-M-B02C-1-4-D剛性罐道間距和接頭的檢測(cè)對(duì)礦井井筒裝備的預(yù)防性維護(hù)具有重要意義?；谔摂M儀器技術(shù)構(gòu)建剛性罐道間距及接頭檢測(cè)系統(tǒng),闡述了測(cè)試系統(tǒng)的定位原理,分析了罐道水平間距偏差、接頭間隙和錯(cuò)位大小的測(cè)量原理;完成了系統(tǒng)硬件選型和軟件設(shè)計(jì)工作。經(jīng)煤礦現(xiàn)場(chǎng)試驗(yàn)表明,該測(cè)試系統(tǒng)能滿足剛性罐道間距及接頭狀態(tài)的測(cè)量要求。 為實(shí)現(xiàn)對(duì)導(dǎo)軌型面的快速自動(dòng)化測(cè)量,研究一種基于激光三角位移傳感器測(cè)距的檢測(cè)方法,提出離散性測(cè)量滾動(dòng)直線導(dǎo)軌副導(dǎo)軌型面精度的測(cè)量方法。該方法通過(guò)激光三角位移傳感器掃描直線導(dǎo)軌各個(gè)截面輪廓,設(shè)計(jì)相應(yīng)算法對(duì)截面輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,并分析補(bǔ)償測(cè)量過(guò)程中產(chǎn)生的誤差,計(jì)算導(dǎo)軌截面輪廓滾道的圓心坐標(biāo)和半徑,以此取得直線導(dǎo)軌滾道半徑、滾道中心軸線間的距離及滾道中心軸線相對(duì)導(dǎo)軌基準(zhǔn)面的平行度。后設(shè)計(jì)了標(biāo)準(zhǔn)圓棒的測(cè)量試驗(yàn)和直線導(dǎo)軌橫截面測(cè)量試驗(yàn),對(duì)比分析測(cè)量結(jié)果,驗(yàn)證直線導(dǎo)軌型面精度檢測(cè)方案的可行性和穩(wěn)定性。