東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹
東京精密E-TS-1070B精度測(cè)試,東京精密E-TS-1072B現(xiàn)貨報(bào)價(jià),東京精密E-TS-1070B備件維修
1.在G1?G2接觸子間放入微動(dòng)臺(tái)。
2.先移動(dòng)G1接觸子、控制部指示値為行程量的一半時(shí)
(-210~-220μm)固定接觸子。
3.然后移動(dòng)G2接觸子、控制部指示値為0μm時(shí)固定接觸子。
?。矗?dòng)臺(tái)朝返回方向返回100μm(-100μm)、確認(rèn)控制部 指示値。
5.微動(dòng)臺(tái)至進(jìn)給原位置(零位置)、確認(rèn)控制部 指示値為0μm〔注1〕。
?。叮?dòng)臺(tái)在進(jìn)給方向進(jìn)給100μm(+100μm)、確認(rèn)控制部指示値。
7.微動(dòng)臺(tái)回到原位置(零位置)、確認(rèn)控制部指示値為0μm〔注1〕。
?。福?/span>0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値不超過(guò)1.5μm。
9.0μm→-100μm的指示値與0μm→+100μm的指示値的差超過(guò)1.5μm時(shí)需再調(diào)整、重復(fù)[1.]~[8.]的作業(yè)。不超過(guò)時(shí)進(jìn)行接下來(lái)的檢查。
〔注1〕 微動(dòng)臺(tái)在原位置(零位置)時(shí)、控制部指示値不為0μm時(shí)、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè)。
※ 為減少演算誤差需進(jìn)行絞合線單體感度測(cè)量(別紙)。