542-715 LGH-1010-B-EH激光全息光柵測微儀

 光柵式測微儀
●支持自動(dòng)化儀表及量具的配套使用

 542 系列 激光全息光柵式測微儀
LGH (0.01μm 分辨力、0.005μm 分辨力)
• 在10mm 的寬范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了與激光干涉儀
相同的0.005μm 或0.01μm 的高分辨力和高
精度。
• 緊湊性的機(jī)身使得裝置本身小型化，不僅
可以作為高精度零部件的測量以及高精度
定位· 控制裝置長度測量的傳感器，還適用
于作為各種測量機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)。
• 新型號采用光電式反射型線性編
碼器，在低價(jià)格下實(shí)現(xiàn)了0.01μm
高分辨率，指示精度0.2μm，測
量范圍10mm的寬范圍。
• 響應(yīng)速度與以往產(chǎn)品相比提高了
2.8倍(250mm/s⇒700mm/s)，兼顧
了高精度和高速度。
• 裝配新開發(fā)的超高精度透射型線
性編碼器，實(shí)現(xiàn)0.005μm(5nm)的
高分辨力。
• 在測量范圍10mm的寬范圍內(nèi)實(shí)
現(xiàn)了指示精度0.1μm。適用于標(biāo)
準(zhǔn)規(guī)的校正·賦值，以及用于測
量機(jī)的基準(zhǔn)器。
• 也具有低測力規(guī)格產(chǎn)品：根據(jù)用途可以選
擇低測力規(guī)格，可以測量易變形工件和高
性能膠片等。
• LGH 系列是與計(jì)數(shù)器的組合規(guī)格

 測微頭測微頭542-715
LGH-1010-B-EH
542-720
LGH-0510-B-EH

校準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)高精度零件的檢查

 校準(zhǔn)規(guī)校準(zhǔn)高精度零件的檢查

 分辨力0.01μm、指示精度0.2μm 類型
貨號542-715 (標(biāo)準(zhǔn)型) 542-716 (低測力型)
型號LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH
測量范圍10mm
分辨力0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm 用計(jì)數(shù)器可切換)
指示精度(20ºC)*1 0.2μm
重復(fù)精度(20ºC)*1 0.1μm (2σ)
量化誤差(20ºC)*1 0.1μm
測力
測桿朝下0.65N 以下約0.12N
測桿水平0.55N 以下不可使用
測桿朝上0.45N 以下不可使用
位置檢出方式光電反射型線性編碼器
響應(yīng)速度通常測量時(shí)：700mm/sec 峰值檢測時(shí)：120mm/sec
重量約370g
測頭硬質(zhì)合金Sø3mm (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 標(biāo)準(zhǔn)測頭No.901312
裝夾套筒ø15mm
軸承類型高精度線性滾珠軸承
輸出電纜長度約2m
運(yùn)行溫度(濕度) 范圍0Cº ～ 40Cº (基準(zhǔn)溫度20Cº) / 20 ～ 80%RH (無冷凝)
存儲(chǔ)溫度(濕度) 范圍− 10Cº ～ 60Cº / 20 ～ 80%RH (無冷凝)

 542-715 LGH-1010-B-EH激光全息光柵測微儀