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當(dāng)前位置:> 供求商機(jī)> ES622-50-ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)
ES622 系列 TLP 脈沖 IV 曲線系統(tǒng)是一種先進(jìn)的 IV 曲線表征系統(tǒng),旨在高功率時(shí)域中模擬 ESD 事件(TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脈沖)及監(jiān)控設(shè)備(半導(dǎo)體、分立器件、電路模塊等)。ES622相比之前的ES620,規(guī)格更高,功能更多,擴(kuò)展能力更強(qiáng),軟件體驗(yàn)更佳。
傳輸線脈沖(TLP)測(cè)試功能旨在滿足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),并將高質(zhì)量矩形脈沖應(yīng)用于被測(cè)器件并記錄器件兩端的電壓和電流??衫L出脈沖 IV 曲線,允許用戶在納秒級(jí)時(shí)間窗口內(nèi)表征器件的瞬態(tài)響應(yīng)。設(shè)備集成了先進(jìn)的自動(dòng)器件故障檢測(cè)方法,例如:直流抽檢(V 或 I)、靜態(tài) IV 曲線、熔斷、擊穿和偏置源波動(dòng)。
VF-TLP 測(cè)試旨在模擬 CDM 速度 ESD 事件,并在高速(例如<100 ps 上升時(shí)間)ESD 瞬態(tài)下捕獲 DUT 兩端的電壓和通過(guò) DUT 的電流。這允許用戶研究器件的響應(yīng)速度和峰值鉗位電壓。
人體金屬模型(HMM)測(cè)試功能是 IEC61000-4-2 系統(tǒng)級(jí) ESD 的替代測(cè)試方法。它為低歐姆設(shè)備提供了理想標(biāo)準(zhǔn)波形的等效波形,并消除了組件或晶圓級(jí)測(cè)試的許多 IEC 槍測(cè)試問(wèn)題,例如可重復(fù)性、槍尖不精確、阻抗不匹配、來(lái)自非屏蔽繼電器的 EMI 干擾以及具有大接地平面和耦合平面的特殊裝置等。
可靈活配置的 TLP 脈沖 IV 曲線系統(tǒng)
超緊湊的設(shè)計(jì)系統(tǒng)
具有多線程處理能力的超快測(cè)試速度
提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型號(hào)(可定制)
可用軟件提供高級(jí)系統(tǒng)和附件監(jiān)控和控制
(開(kāi)關(guān)壽命監(jiān)視器、E-Cal 模塊、示波器衰減調(diào)整)
測(cè)試功能可通過(guò) VF-TLP、HMM、HBM、MM 選項(xiàng)進(jìn)行擴(kuò)展
多種故障自動(dòng)檢測(cè)方式
(直流抽檢(V 或 I)或 IV 掃描、熔斷、擊穿和偏置電流變化)
軟件控制脈沖:突發(fā)、連續(xù)、IV 曲線表征
上升時(shí)間選項(xiàng)從 40 ps 到 1200 ns(取決于型號(hào),可定制)
脈沖寬度選項(xiàng)從 1 ns 到 2000 ns(取決于型號(hào),可定制)
注意*:EOS 系列支持更長(zhǎng)的脈沖應(yīng)用,脈沖寬度從幾百 ns 到幾 ms。
ESD 性能表征
晶圓/封裝級(jí)ESD測(cè)試
系統(tǒng)/電路模塊ESD測(cè)試
安全操作區(qū)(SOA)測(cè)試
充電恢復(fù)時(shí)間測(cè)試
太陽(yáng)能電池板二極管特性
觸摸屏 ITO 微帶線熔斷和擊穿測(cè)試
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn):
TLP / VF-TLP 選項(xiàng)符合 ANSI/ESD STM 5.5.1標(biāo)準(zhǔn)
HMM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESD SP5.6標(biāo)準(zhǔn)
HBM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001標(biāo)準(zhǔn)
MM 選項(xiàng)符合 ANSI/ESDA SP5.2標(biāo)準(zhǔn)
ES622系列TLP單元規(guī)格表
參數(shù) | ES622-20 | ES622-50 | ES622-100 | ES622-125 | ES622-150 | 單位 | *可根據(jù)要求提供特殊型號(hào),例如 40、100、200+ A |
開(kāi)路輸出電壓 | ± 0.5 ~ 1000 | ± 0.5 ~ 2500 | ± 0.5 ~ 5000 | ± 0.5 ~ 6250 | ± 0.5 ~ 7500 | V | |
開(kāi)路最小電壓步長(zhǎng) | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | V | |
短路輸出電流 | ± 0.01 ~ 20 | ± 0.01 ~ 50 | ± 0.01 ~ 100 | ± 0.01 ~ 125 | ± 0.01 ~ 150 | A | |
電壓精度 | 精度可在 1 – 10 % 之間調(diào)節(jié) | % | 速度/精度軟件可調(diào) | ||||
最快上升時(shí)間* (默認(rèn) 20-80%) | ≤ 50 | ≤ 200 | ≤ 300 | ≤ 300 | ≤ 300 | ps | 特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升時(shí)間 |
上升時(shí)間范圍 | 0.05 ~ 1200 | 0.2 ~ 1200 | 0.3 ~ 1200 | 0.3 ~ 1200 | 0.3 ~ 1200 | ns | |
上升時(shí)間選項(xiàng) | 無(wú)限的可編程或手動(dòng)選項(xiàng) | 可定制 | |||||
脈寬 (默認(rèn) 50-50%) | 100 ± 1 | ns | 默認(rèn) | ||||
最小脈寬 | 0.5 | 1 | 5 | 5 | 5 | ns | |
最大脈寬 | 2000 | 2000 | 1500 | 1500 | 1000 | ns | |
脈寬選項(xiàng) | 無(wú)限的可編程或手動(dòng)選項(xiàng) | 可定制 | |||||
測(cè)試速度 | 通常 0.2 ~ 2 | s | 因硬件設(shè)置而異 | ||||
尺寸 | 347 W X 300 D X 145 H | mm | 可能因定制而改變 | ||||
重量 | 8 | 8 | 8 | 10 | 12 | kg | |
支持的示波器 | Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的主要系列 | 其他可根據(jù)要求支持 | |||||
支持 的SMU | Keithley 24xx/26xx 系列 SMU | 其他可根據(jù)要求支持 |
ES62X-HMM2 外置人體金屬模型模塊
(短路DUT,符合ANSI / ESD SP5.6 的 100 Ω HMM)
參數(shù) | ES620-25 | ES620-50 | ES622-100 | ES620-125 | ES620-150 | 單位 | 備注 |
IEC等效等級(jí) | 6 | 12 | 24 | 30 | 36 | kV | |
HMM 峰值電流 | 22.5 | 45 | 90 | 112.5 | 135 | A | 3.75 A 每 1 kV ≤ ± 10 % IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF) |
HMM 電流 @ 30 ns | 12 | 24 | 48 | 60 | 72 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于±30% IEC) |
HMM 電流 @ 60 ns | 6 | 12 | 24 | 30 | 36 | A | ≤ ± 10 % (優(yōu)于±30% IEC) |
ES62X-HBM2 外置人體模型模塊
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5 k?, C=100 pF)
參數(shù) | ES620-25 | ES620-50 | ES622-100 | ES620-125 | ES620-150 | 單位 | 備注 |
最大 HBM 測(cè)試等級(jí) | ± 2 | ± 4 | ± 8 | ± 10 | ± 12 | kV | |
最小HBM 測(cè)試等級(jí) | ± 50 | V | |||||
最小測(cè)試步長(zhǎng) | 1 | V | 通過(guò)USB,用PCB 控制 | ||||
電荷泄放電阻 | 10 K | Ohm | |||||
電壓輸出靈敏度 | 1/201 | V/V | 注入50 Ohm時(shí)誤差小于± 3% | ||||
電流傳感器靈敏度 | 1 | V/A | 注入50 Ohm時(shí)誤差小于± 3% | ||||
測(cè)試速度 | >= 1 | S | 根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),最大 1P/s | ||||
物理尺寸 | 90 X 90 X 130 | mm |
編號(hào) | 部件型號(hào) | 描述 |
TLP IV曲線系統(tǒng)基礎(chǔ)配置 | ||
1.1 | ES622-20 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),20 A 基礎(chǔ)單元 |
1.2 | ES622-25 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),25 A 基礎(chǔ)單元 |
1.3 | ES622-40 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),40 A 基礎(chǔ)單元 |
1.4 | ES622-50 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),50 A 基礎(chǔ)單元 |
1.5 | ES622-100 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),100 A 基礎(chǔ)單元 |
1.6 | ES622-125 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),125 A 基礎(chǔ)單元 |
1.7 | ES622-150 | ES622 TLP 脈沖 IV曲線系統(tǒng),150 A 基礎(chǔ)單元 |
上升時(shí)間選項(xiàng) (僅作為案例配置展示,可供定制) | ||
2.1 | ES62x-PRT4 | 可編程的4個(gè)脈沖上升時(shí)間過(guò)濾器模塊 (默認(rèn): 內(nèi)置1 ns、5 ns、10 ns,可定制) |
2.2 | ES62x-PRT10 | 可編程的10個(gè)脈沖上升時(shí)間過(guò)濾器模塊 (默認(rèn): 內(nèi)置0.5ns、1 ns、2ns、5 ns、10 ns、20ns,可定制) |
2.3 | ES62x-ERTF | 手動(dòng)外部上升時(shí)間過(guò)濾器 |
脈寬選項(xiàng)(僅作為案例配置展示,可供定制) | ||
3.1 | ES620-PPL4 | 可編程的4個(gè)內(nèi)置脈寬模塊 |
3.2 | ES620-PPL10 | 可編程的10個(gè)內(nèi)置脈寬模塊 |
3.3 | ES620-MPLEx | 手動(dòng)脈寬外部變動(dòng)選項(xiàng) |
外置脈沖模塊選項(xiàng) | ||
4.1 | ES62X-HBM2 | 人體模型 (HBM) ESD脈沖模塊及測(cè)試設(shè)置選項(xiàng) (ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脈沖測(cè)試及IV測(cè)量) |
4.2 | ES62X-HMM2 | 人體金屬模型(HMM) ESD脈沖模塊及測(cè)試設(shè)置選項(xiàng) (IEC61000-4-2 脈沖測(cè)試及IV測(cè)量) |
4.3 | ES62X-MM2 | 機(jī)器模型(MM) ESD脈沖模塊及測(cè)試設(shè)置選項(xiàng) (ANSI/ESDA SP5.2 脈沖測(cè)試及IV測(cè)量) |
漏電或直流IV測(cè)量選項(xiàng) | ||
5.1 | ES62X-SSM | 系統(tǒng)開(kāi)關(guān)模塊(在脈沖及直流測(cè)試間切換) |
5.2 | ES62X-STP1 | SMU 瞬態(tài)保護(hù)器 |
直流偏置測(cè)量選項(xiàng) | ||
6.1 | BT-100V2A6G | TLP測(cè)試偏置三通, 10 kHz – 6 GHz, 100V, 2 A DC/10 A 脈沖電流 |
6.2 | BT-100V4A3G | TLP測(cè)試偏置三通, 10 kHz – 3 GHz, 100V, 4 A DC/20 A 脈沖電流 |
6.3 | BT-450V2A5G | TLP測(cè)試偏置三通, 10 kHz – 5 GHz, 450V, 2 A DC/10 A 脈沖電流 |
ESD 注入及IV曲線測(cè)量選項(xiàng) | ||
7.1 | ES62X-PSTT | 用于封裝級(jí)標(biāo)準(zhǔn)TLP測(cè)試的TDR-O測(cè)試裝置 |
7.2 | ES62X-PVFTT | 用于封裝級(jí)VF-TLP測(cè)試的TDR-S測(cè)試裝置 |
7.3 | ES62X-CMPS | 簡(jiǎn)易式手動(dòng)探針臺(tái),配有可靈活移動(dòng)的真空泵和顯微鏡 |
7.4 | ES62X-WSTT | 用于晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)TLP測(cè)試的TDR-O測(cè)試裝置,含探針座 |
7.5 | ES62X-WVFTT | 用于晶圓級(jí)VF-TLP測(cè)試的TDR-S測(cè)試裝置,含探針座 |
與TLP系統(tǒng)匹配的示波器 | ||
8.1 | MISC-OSC1 | 數(shù)字示波器( 1GHz, 5Gs, 4通道, 推薦用于標(biāo)準(zhǔn)TLP測(cè)試) |
8.2 | MISC-OSC6 | 數(shù)字示波器( 6GHz, 5Gs, 4通道, 推薦用于VF-TLP測(cè)試) |
許多配置可根據(jù)客戶需求定制。ES622系列TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)(含 HMM、HBM、MM 外部模塊)
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