半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備,在一個系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)了電流電壓 (IV) 測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。
產(chǎn)品應(yīng)用:
新型材料與器件測試
半導(dǎo)體器件可靠性測試
半導(dǎo)體器件超短脈沖測試
半導(dǎo)體器件無損探傷與測試
光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測試
半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測試
產(chǎn)品優(yōu)勢:
一體化設(shè)備:
單機(jī)可采集高精度IV、CV、脈沖IV和瞬態(tài)IV采樣及1/f噪聲測試所有參數(shù)。
無需切換電纜或探頭連接即可提供完整的低頻參數(shù)提取功能。
寬電壓電流輸出范圍、高精度:
支持高速采樣時域信號采集和任意線性波形生成模塊化架構(gòu)。
支持靈活、可擴(kuò)展的測試配置。
簡單易用:
內(nèi)置專業(yè)LabExpress軟件,用戶界面友好。
測量、分析功能強(qiáng)大。
無需復(fù)雜編程步驟即可同步產(chǎn)生電壓并跟蹤波形。
可用作9812DX內(nèi)部SMU模塊:
無縫集成9812D/DX系統(tǒng)及其NoiseProPlus軟件,可提高噪聲測試速度。